重要的準(zhǔn)分子激光，以稀有氣體的鹵化物為自動(dòng)介質(zhì)，如ArF， KrF， XeF，激光混合氣選哪家， KrCl， XeCl等。因?yàn)槭芗B(tài)常以星號(hào)(*)上標(biāo)表示，所以有些數(shù)據(jù)上寫成ArF*等。準(zhǔn)分子不會(huì)天然出現(xiàn)，而是在氣體混合物中放電時(shí)形成的。激光混合氣中的發(fā)生氣體是激光發(fā)生器上用來產(chǎn)生激光的氣體，對(duì)氣體質(zhì)量要求高，激光混合氣配制精度要求高，高純二氧化碳純度達(dá)99.999%，高純氮?dú)獾募兌?9.999%，高純氦氣的純度要求99.999%，二氧化碳是產(chǎn)生激光的，氦氣是冷卻激光器的，氮?dú)馐瞧胶鈿怏w，氣體中的水分、氧份、有機(jī)氣體雜質(zhì)對(duì)激光機(jī)的鏡片損傷特別大，能快速減少鏡片的壽命。所以激光機(jī)對(duì)這些氣體的質(zhì)量要求特別高。20W機(jī)型可發(fā)生275.4至1090.0 nm的一些激光光。主要的可見光波長分別是514.5、501.7、496.5、 488.0、476.5、472.7、465.8、457.9、454.5 nm。藍(lán)綠光波段中，而的是514.5及488 nm。氪離子激光可發(fā)生337.4至799.3 nm，的是647.1 nm，其次為413.1及530.9 nm。產(chǎn)品中，有將氬氣與氪氣混合的機(jī)型。

如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光，激光混合氣，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆?KrF)激光，可稱為第三代激光。氣體激光器的重要特點(diǎn)之一，激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體因此，對(duì)激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進(jìn)行干燥處理，防止污染混合氣。稀有氣體離子激光中，以氬離子激光及氪離子激光為常見。除了直接使用之外，氬離子激光常以其紫外線及藍(lán)綠光激起染料激光。

激光氣體中的發(fā)生氣體時(shí)激光發(fā)生器上用來產(chǎn)生激光的氣體，對(duì)氣體質(zhì)量要求高，激光混合氣配制精度要求高，高純二氧化碳純度達(dá)99.999%，高純氮?dú)獾募兌?9.999%，高純氦氣的純度要求99.999%，二氧化碳是產(chǎn)生激光的，氦氣是冷卻激光器的，氮?dú)馐瞧胶鈿怏w，氣體中的水分、氧份、有機(jī)氣體雜質(zhì)對(duì)激光機(jī)的鏡片損傷特別大，激光混合氣廠家報(bào)價(jià)，能快速減少鏡片的壽命。所以激光機(jī)對(duì)這些氣體的質(zhì)量要求特別高。近年來CO2激光加工設(shè)備雖然漸趨普及，但激光畢竟是一種新的工具，激光加工技術(shù)亦不同于傳統(tǒng)的加工方法，所以工業(yè)界在引進(jìn)使用CO2激光器的過程中，激光混合氣廠家，曾經(jīng)遇到各種各樣的問題，給很多廠商造成不少困擾。目元激光混合氣體的佳方案組成比例：CO:4%，CO2：8%，He:28%，N2:60%。這種四元激光混合氣體可以是二維激光切割機(jī)床達(dá)到輸出功率，并且大切割鋼板厚度達(dá)到25mm，還可以更好的保證工件質(zhì)量。

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