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特種氣體分類:標(biāo)準(zhǔn)氣體嚴(yán)格意義上應(yīng)稱為標(biāo)準(zhǔn)校正氣體,是一種高度均勻, 穩(wěn)定性良好和量值準(zhǔn)確的氣體,可分為單元標(biāo)準(zhǔn)氣體和多元標(biāo)準(zhǔn)氣體,目前標(biāo)準(zhǔn)氣基本 滿足了我國(guó)石油、化工、環(huán)保、傳感器校核等諸多領(lǐng)域的需求,特種氣體有限公司,我國(guó)特種氣體行業(yè)在 2006 年后進(jìn)入快速發(fā)展階段,工業(yè)特種氣體哪家好,廣泛應(yīng)用于集成電路、顯示面 板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車、航空航天、環(huán)保等新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域,特種標(biāo)準(zhǔn)氣體嚴(yán)格意義上應(yīng)稱為標(biāo)準(zhǔn)校正氣體,是一種高度均勻,穩(wěn)定性良好和量值準(zhǔn)確的氣體,它可以是單一的純氣體或高純氣體,也可以是由多組分氣體配制而成的混合氣體。標(biāo)準(zhǔn)氣體屬于標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)之一,故又稱為氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。
特種氣體在太陽(yáng)能電池中的應(yīng)用:非晶硅太陽(yáng)能 電池在 LPCVD 沉積 TCO 工序用到 DEZn、B2H6;非晶/微晶硅沉積工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。特種氣體種類:廣義的“電子氣體”指可用于電子工業(yè)生產(chǎn)中使用的氣體,是重要原材料之一,特種氣體供應(yīng), 狹義的“電子氣體”特指可用于電子半導(dǎo)體領(lǐng)域生產(chǎn)的特種氣體。特種氣體種類:電子氣體可以分為電 子特種氣體和電子大宗氣體。電子氣體在電子產(chǎn)品制程工藝中廣泛應(yīng)用于離子注入、刻 蝕、氣相沉積、摻雜等工藝,被稱為集成電路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“糧食” 和“源”。
特種氣體在集成電路領(lǐng)域的應(yīng)用:特種氣體是半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐材料,處于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的 上游,被稱為半導(dǎo)體的“源”,主要應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。特種氣體從應(yīng)用領(lǐng)域來看,主要包括電子氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、食品氣體、電光源氣體等,其中,電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產(chǎn)業(yè)的加工制造過程,是下游的行業(yè)關(guān)鍵性化工基礎(chǔ)材料,巢湖特種氣體,被譽(yù)為電子產(chǎn)業(yè)的“血液”。我國(guó)特種氣體行業(yè)在 2006 年后進(jìn)入快速發(fā)展階段,廣泛應(yīng)用于集成電路、顯示面 板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車、航空航天、環(huán)保和新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域,
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