氦泄漏檢測應(yīng)用

氦質(zhì)譜檢漏儀是以氨氣作為示漏氣體，對真空設(shè)備及密封器件的微小漏隙進行定位、定量和定性檢測的檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡便檢測迅速等特點是在真空檢漏技術(shù)中用得普遍的檢漏儀器

氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計，用氨氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質(zhì)譜檢漏儀器。其結(jié)構(gòu)主要由進樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子。

氦質(zhì)譜檢漏儀是否有精度級別一說？

所謂的精度終指向的是--測試氦分壓 （微觀為個數(shù)，北京氦檢漏公司，宏觀則表現(xiàn)為在容器壁上的壓力）（空氣中5ppm氦氣）

（1）吸質(zhì)譜檢漏，油箱氦檢漏公司，假定流量為300 sccm， 則檢漏儀的真實本底為 Q=PV*d(t)=2.5E-5mbarl/s，半導(dǎo)體氦檢漏公司，但行業(yè)中吸式都標(biāo)準(zhǔn)在常壓情況下能測到E-7，是因為加入了軟件濾波（抑零）等。

（2）真空法，密封焊接件氦檢漏公司，氦本底=分子泵抽速（輔助泵有則加上）*腔體內(nèi)氦濃度*入口處壓力，有很多外部條件。

氦氣漏檢測試

真空測試(由外向內(nèi))

氦氣生產(chǎn)廠家表示，在真空測試中，對于較大的體積，用單獨的泵系統(tǒng)對器件進行抽真空，對于較小的體積，則在檢測器內(nèi)部進行抽真空。找到漏洞使用流量可調(diào)的噴霧探針將氦氣注入零件的泄漏部位。

壓力測試(由內(nèi)向外)

在壓力測試中，零件用氦氣或氦氣和空氣的混合物加壓。找到漏洞使用連接到檢漏儀入口的嗅探器探針掃描零件的潛在泄漏點。

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