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增強型磁控陰極?。宏帢O弧技術是在真空條件下,通過低電壓和高電流將靶材離化成離子狀態(tài),從而完成薄膜材料的沉積。增強型磁控陰極弧利用電磁場的共同作用,將靶材表面的電弧加以有效地控制,金屬鍍鈦加工怎么收費,使材料的離化率更高,薄膜性能更加優(yōu)異。
過濾陰極?。哼^濾陰極電弧(FCA )配有的電磁過濾系統(tǒng),可將離子源產生的等離子體中的宏觀粒子、離子團過濾干凈,經過磁過濾后沉積粒子的離化率為,金屬鍍鈦加工價格,并且可以過濾掉大顆粒,金屬鍍鈦加工哪里有, 因此制備的薄膜非常致密和平整光滑,具有抗腐蝕性能好,與機體的結合力很強。
離子鍍技術早由D. M. Mattox于1963年提出并付諸實踐的。其原理是在真空條件下,利用氣體放電使氣體或被蒸發(fā)物質離化,在氣體離子或被蒸發(fā)物質離子轟擊作用的同時,把蒸發(fā)物或其他反應物鍍在基片上的工藝。
根據膜層粒子的獲得方式,離子鍍可分為蒸發(fā)型離子鍍和濺射型離子鍍,其中蒸發(fā)型離子鍍根據放電原理不同又可分為直流二級型離子鍍、熱絲弧離子鍍、空心陰極離子鍍以及熱陰極離子鍍等。
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