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充入氣:在高真空的條件下充入適量的氣。
施加電壓:在陰極(柱狀靶或平面靶)和陽(yáng)極(鍍膜室壁)之間施加幾百K直流電壓,在鍍膜室內(nèi)產(chǎn)生磁控型異常輝光放電。
電子碰撞與電離:電子在電場(chǎng)E的作用下,在飛向基片過(guò)程中與原子發(fā)生碰撞,使氣發(fā)生電離(在高壓作用下Ar原子電離成為Ar 離子和電子)。
離子轟擊靶材:入射離子(Ar )在電場(chǎng)的作用下轟擊靶材,使得靶材表面的中性原子或分子獲得足夠動(dòng)能脫離靶材表面,沉積在基片表面形成薄膜。
二次電子運(yùn)動(dòng):產(chǎn)生的二次電子會(huì)受到電場(chǎng)和磁場(chǎng)作用,產(chǎn)生E×B漂移,其運(yùn)動(dòng)軌跡近似于一條擺線。若為環(huán)形磁場(chǎng),則電子就以近似擺線形式在靶表面做圓周運(yùn)動(dòng),它們的運(yùn)動(dòng)路徑不僅很長(zhǎng),而且被束縛在靠近靶表面的等離子體區(qū)域內(nèi),并且在該區(qū)域中電離出大量的Ar 來(lái)轟擊靶材。
在材料準(zhǔn)備過(guò)程中,注意控制環(huán)境溫度和濕度。溫度過(guò)高或過(guò)低都可能影響材料的性能和鍍膜質(zhì)量。
保持操作環(huán)境的整潔和干燥,減少灰塵和雜質(zhì)的產(chǎn)生。
在處理鍍膜材料時(shí),H850派瑞林鍍膜設(shè)備,遵循相關(guān)的安全操作規(guī)程,H850派瑞林鍍膜設(shè)備哪有訂,佩戴適當(dāng)?shù)姆雷o(hù)設(shè)備,如防塵口罩和手套。
避免與有害化學(xué)物質(zhì)直接接觸,確保操作人員的安全
鍍膜材料準(zhǔn)備過(guò)程中需要注意材料選擇、清潔、真空室準(zhǔn)備、溫度和濕度控制、安全操作以及記錄和檢驗(yàn)等方面。這些注意事項(xiàng)有助于確保鍍膜的質(zhì)量和效率,為后續(xù)鍍膜過(guò)程奠定堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。
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