低溫硅液相外延：低溫外延是硅器件制造的總體趨勢(shì).在硅LPE中，由于新的溶劑(主要是Ag，二手1260怎么樣，Au及其合金)不斷發(fā)現(xiàn)，大大降低了硅LPE的溫度.金對(duì)硅的溶解度就是在400℃也能達(dá)到15at.%以上，二手1260供應(yīng)，Ag在845℃也有11at.%的Si含量.又因金在硅中的固溶度在800℃才達(dá)到影響光生載流子壽命的閾值，而當(dāng)生長溫度低于500℃時(shí)，Au在硅中的固溶度不到1012cm-3。




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