使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽， 氣壓很低， 如何定制質(zhì)量流量控制器的低壓降產(chǎn)品?

部分用戶使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽做氣源，氣壓很低， 用普通MFC， 不能正常工作。這時(shí)用戶需要向供貨商特別聲明， 定制低壓降的質(zhì)量流量控制器。通?？梢远ㄖ乒ぷ鲏翰畹陀?.01MPa的MFC， 這時(shí)MFC的工作壓差范圍， 也會(huì)變小。

注意使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽時(shí)， 不能讓汽化物在MFC中結(jié)露， 結(jié)露會(huì)影響MFC的正常工作。為了防止結(jié)露， 可以對(duì)管路和MFC適當(dāng)加溫， 但MFC的工作環(huán)境溫度通常不得超過(guò)50℃。如果用戶要MFC的工作環(huán)境溫度超過(guò)65℃以上， 需要特殊購(gòu)買(mǎi)高溫MFC產(chǎn)品。

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氣體質(zhì)量流量單位

氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute，每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升）和slm（Standard Liter per Minute，每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升）來(lái)表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，流體數(shù)字控制模塊公司，指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計(jì)的重要區(qū)別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。

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體積流量的表示方法

對(duì)多數(shù)用戶而言，體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min），流體數(shù)字控制模塊報(bào)價(jià)，這個(gè)要求是很容易實(shí)現(xiàn)的。因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數(shù)， 可以方便地查到，因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法（以密度乘以若干slm）即可實(shí)現(xiàn)。所以說(shuō)，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

需要注意的是， 被全世界質(zhì)量流量控制器廠商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位， 不符合國(guó)內(nèi)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的常用的質(zhì)量流量的國(guó)際單位（Kg/min），流體數(shù)字控制模塊多少錢(qián)， 但是它符合國(guó)際半導(dǎo)體協(xié)會(huì)制定的SEMI。

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