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潔凈隧道:以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點:A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。潔凈管道:將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動化生產(chǎn)線為更適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。并裝局部無塵室:將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。
潔凈實驗室設計和施工中的問題:潔凈實驗室的應用越來越廣泛,目前集中在醫(yī)院手術室和病房、制藥廠、生物安全實驗室、動物房等。同樣級別的潔凈室,由于應用領域不同,要求也有很大區(qū)別, 筆者檢測的若干生物潔凈室中,出現(xiàn)了各種不同問題,很多是由于對各種生物潔凈室的特點和要求缺乏了解造成的。先,不同類型的潔凈實驗室必須遵循 相應的規(guī)范要求,不了解這些規(guī)范,是無法進行設計施工的。目前針對不同類型生物潔凈室的一些規(guī)范潔凈實驗室熟悉各行業(yè)的特點,充分掌握各規(guī)范的要求,才能切實做好生物潔凈室的設計、施工、調(diào)試等工作。了解了不同潔凈實驗室的不同要求,下面談談在生物潔凈室設計施工中遇到的幾個問題。
潔凈工作臺:等級Class 1~100級。潔凈工作棚:為在亂流式之無塵室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,罐頭凈化工程裝修,采用獨立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風機組而成為一較之潔凈空間,其等級為10~1000級,高度在2.5米左右,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動輪,可為彈性運用。凈化車間空氣過濾器的選擇要考慮到過濾器的投資和使用壽命,山東凈化公司認為,由于凈化車間的特性不同,高效過濾器的選擇先要按照潔凈室的級別、無菌程度、溫濕度、耐火程度、防腐等不同要求來確定。如100級以下選擇A類或B類,100級以上則需要選擇C類過濾器;高溫高濕條件下宜選用金屬分隔板和金屬框架的過濾器;有防腐要求的宜選用塑料分隔板和塑料框架的過濾器;有防火要求的,過濾器所有材料應為不燃性等等。本文不考慮這些問題,僅僅考慮影響常規(guī)高效過濾器(以過濾≥0.5μm為主)的選擇量和阻力問題。
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