氣體質(zhì)量流量控制器的零點(diǎn)漂移？

微小的零點(diǎn)漂移是不會(huì)影響傳感器的測(cè)量精度和數(shù)值的，但是如果是零點(diǎn)漂移較大或用戶在使用時(shí)，氣體流量控制，對(duì)零點(diǎn)漂移的數(shù)值有疑問，那么這時(shí)候如何解決漂移顯得非常重要。 熱式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計(jì)會(huì)有零點(diǎn)漂移情況，零點(diǎn)漂移也就是管道中已經(jīng)沒有介質(zhì)流動(dòng)但質(zhì)量流量計(jì)仍顯示流量值。如果是零點(diǎn)出現(xiàn)大幅漂移，而且每次漂移差別很大，就需要檢查管道內(nèi)使用有大量的壓力或氣體殘留，需要打開各種閥門，全部排空氣體管路，防止設(shè)備或管路憋壓。

一般造成質(zhì)量流量計(jì)零點(diǎn)漂移的因素有許多，氣體流量控制廠家，解決質(zhì)量流量計(jì)零漂問題，首先要定期進(jìn)行零點(diǎn)檢查和調(diào)整，二是需要和工藝配合來解決。一般情況下，管道壓力變化造成介質(zhì)微量流動(dòng)也會(huì)導(dǎo)致質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計(jì)的零點(diǎn)漂移，出現(xiàn)這種漂移時(shí)，要關(guān)閉流量控制器或流量計(jì)前段的電磁閥（流量控制器不能當(dāng)做截止閥來使用），氣體流量控制多少錢，使管道內(nèi)處于完全零流狀態(tài)或在管道適當(dāng)位置設(shè)置排氣口，消除管道內(nèi)的壓力和氣流，從而達(dá)到消除零點(diǎn)漂移。

氣體質(zhì)量流量控制器工作壓差范圍是個(gè)什么概念?

氣體質(zhì)量流量控制器在進(jìn)出氣接頭兩端有一定的壓力差下才能正產(chǎn)工作，MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa， 若壓差小于0.1 MPa， 有可能操控流量達(dá)不上滿量程值; 若高過0.3MPa， 有可能在關(guān)閉狀態(tài)下仍有氣體通過，即電磁閥漏氣。客戶應(yīng)用MFC時(shí)， 無論客戶工作的反應(yīng)腔室是真空環(huán)境還是是髙壓狀態(tài)， 都應(yīng)保證MFC進(jìn)出氣兩端的壓差維持在所規(guī)定壓差范圍內(nèi)，氣體流量控制報(bào)價(jià)， 而且壓差要相持續(xù)穩(wěn)定。

通訊方式的熱式氣體質(zhì)量流量控制器

在直徑較細(xì)的感應(yīng)管中放置兩對(duì)加熱器，并將其控制在同一溫度。當(dāng)流體流動(dòng)時(shí)，氣體將上游的部分熱量帶給下游，而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時(shí)，利用上下加熱器之間產(chǎn)生的溫度差和流體的質(zhì)量流量成比例的原理，來測(cè)定流量。熱式流量計(jì)傳感器包含兩個(gè)傳感元件，一個(gè)速度傳感器和一個(gè)溫度傳感器。它們自動(dòng)地補(bǔ)償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個(gè)定值，使速度傳感器和測(cè)量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當(dāng)保持溫差不變時(shí)，電加熱消耗的能量，也可以說熱消散值，與流過氣體的質(zhì)量流量成正比，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測(cè)量。

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