昆山金斗云測(cè)控設(shè)備有限公司（GOC）是一家多元化科技型企業(yè)。GOC公司一直致力于設(shè)備狀態(tài)監(jiān)測(cè)和故障診斷技術(shù)的產(chǎn)品研發(fā)，以創(chuàng)造工業(yè)預(yù)測(cè)維修的價(jià)值為宗旨。

瑞典VMI Viber-x5振動(dòng)分析儀成功解決半導(dǎo)體行業(yè)光刻機(jī)機(jī)臺(tái)的振動(dòng)問題

光刻機(jī)一般分為步進(jìn)投影和掃描投影光刻機(jī)兩種，精度為七納米至幾微米之間，齒輪箱振動(dòng)分析服務(wù)，光刻機(jī)是世界上精密的儀器，對(duì)振動(dòng)的要求非常高。瑞典VMI Viber-x5振動(dòng)分析儀所采用的振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)為VC微振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)，VC微振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)分為：VC-A、 VC-B、 VC-C、 VC-D、 VC-E、 VC-F、VC-G。對(duì)于潔凈室的光刻機(jī)設(shè)備的振動(dòng)要求機(jī)臺(tái)振動(dòng)必須滿足CV-D 6.25um/s RMS以下。名的光刻機(jī)制造商荷蘭ASML要求潔凈室的樓板及機(jī)臺(tái)振動(dòng)必須符合VC-D標(biāo)準(zhǔn)才能實(shí)施裝機(jī)，某名半導(dǎo)體制造商使用瑞典VMI Viber-x5振動(dòng)分析儀進(jìn)行潔凈室的現(xiàn)場(chǎng)數(shù)據(jù)采集，發(fā)現(xiàn)潔凈室樓板的振幅只能滿足VC-C12.5um/s RMS，無法滿足CV-D 6.25um/s RMS。通過瑞典VMI Viber-x5振動(dòng)分析儀的頻譜分析功能，發(fā)現(xiàn)了振動(dòng)超標(biāo)的頻率并成功找到振動(dòng)源，經(jīng)過瑞典VMI振動(dòng)分析師的協(xié)助成功的解決了潔凈室樓板振動(dòng)。

昆山金斗云測(cè)控設(shè)備有限公司（GOC）是一家多元化科技型企業(yè)。GOC公司一直致力于設(shè)備狀態(tài)監(jiān)測(cè)和故障診斷技術(shù)的產(chǎn)品研發(fā)，以創(chuàng)造工業(yè)預(yù)測(cè)維修的價(jià)值為宗旨。

瑞典VMI Viber-x5振動(dòng)分析儀應(yīng)用于某半導(dǎo)體管路及地面振動(dòng)檢測(cè)

隨著科技的發(fā)展，每個(gè)電子產(chǎn)品都離不開半導(dǎo)體芯片。的半導(dǎo)體芯片制造企業(yè)，如：Intel、臺(tái)積電、三星、德州儀器、海力士、美光等半導(dǎo)體制造企業(yè)對(duì)于廠房基建的微振動(dòng)有嚴(yán)格的要求。微振動(dòng)一共7個(gè)等級(jí)，分別為CV-A/VC-B/VC-C/VC-D/VC-E/VC-F/VC-G。潔凈室根據(jù)放置的設(shè)備不一樣，對(duì)于地面的振動(dòng)要求等級(jí)不一樣。如光刻機(jī)的機(jī)臺(tái)地面要求達(dá)到VC-D 6.25um/s RMS以下，為確保是否符合標(biāo)準(zhǔn)。某半導(dǎo)體制造企業(yè)使用瑞典VMI Viber-x5振動(dòng)分析儀對(duì)地面進(jìn)行振動(dòng)檢測(cè)，為光刻機(jī)裝機(jī)前確保振動(dòng)值符合VC-D 6.25um/s RMS保駕護(hù)航。

昆山金斗云測(cè)控設(shè)備有限公司（GOC）是一家多元化科技型企業(yè)。GOC公司一直致力于設(shè)備狀態(tài)監(jiān)測(cè)和故障診斷技術(shù)的產(chǎn)品研發(fā)，以創(chuàng)造工業(yè)預(yù)測(cè)維修的價(jià)值為宗旨。

瑞典VMI振動(dòng)分析儀VIBER X5規(guī)格說明：

常規(guī)功能

數(shù)據(jù)記錄器

利用數(shù)據(jù)記錄器你可以連續(xù)地測(cè)量 1 或 2 個(gè)通道時(shí)間或者計(jì)數(shù)的振動(dòng)值（總值）， 此功能主要用于監(jiān)測(cè)設(shè)備一段時(shí)間內(nèi)非周期性的突發(fā)振動(dòng)。

總值測(cè)量

這個(gè)程序用來分析諸如擰緊螺絲和一些其他機(jī)械改變行動(dòng)產(chǎn)生的影響，它也用來給出關(guān)于機(jī)器振動(dòng)狀態(tài)的一個(gè)快速評(píng)估。

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