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氣體質(zhì)量流量控制器的原理是什么?
質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器、通道、電磁調(diào)節(jié)閥和電路板等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補(bǔ)償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量積算儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源, 設(shè)定電位器, 和三位閥控開關(guān)等。
氣體質(zhì)量流量控制器對于氣體的要求
1,氣體必須潔凈且沒有顆粒物,智能流量控制器公司, 沒有液體, 這就要求在MFC/MFM的上游氣路中安裝干燥器和過濾器。
2,輸入的氣體壓力必須符合產(chǎn)品的耐壓標(biāo)準(zhǔn),智能流量控制器哪家好, 不能超過該產(chǎn)品要求的較大壓力。
3、產(chǎn)品的使用氣體必須與用戶訂貨選擇的密封材料相適應(yīng), 用戶有責(zé)任按照可用的安全規(guī)章使用每種氣體。不正確的使用產(chǎn)品會使保修無效,還容易產(chǎn)生危險。
氣體質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么?
(1) 流量的測量和操縱不因溫度或負(fù)載的變化而產(chǎn)生誤差。 針對大部分流量控制系統(tǒng)來講,難以防止系統(tǒng)的工作壓力起伏及自然環(huán)境和物質(zhì)的溫度轉(zhuǎn)變。針對一般的流量計,工作壓力及溫度的起伏將造成很大的偏差;針對質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器,則一般可以忽略。
(2) 測量操縱的自動化技術(shù) 質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以規(guī)范電子信號輸出。那樣非常容易實(shí)現(xiàn)對流量的數(shù)據(jù)顯示﹑積累流量﹑數(shù)據(jù)信息自動保存﹑電腦管理等。對質(zhì)量流量控制器來講,智能流量控制器多少錢,還能夠完成流量的自動控制系統(tǒng)。通常, 模擬的MFC/MFM數(shù)據(jù)信號為0~ 5V或4~20mA, 數(shù)字式MFC/MFM還裝有RS232或RS485數(shù)據(jù)串行通信通信口,智能流量控制器, 能十分便捷地與電腦聯(lián)接, 開展自動控制系統(tǒng)。
(3) 定量操縱流量 質(zhì)量流量控制器可以控制汽體的給定量,這對許多加工工藝全過程的流量操縱﹑針對不一樣汽體的控制算法等尤其有效。
(4) 應(yīng)用領(lǐng)域?qū)?有很寬的壓力范疇,可以適用真空環(huán)境和高壓環(huán)境; 可以適用多種氣體(包含一些腐蝕汽體,如HCL)
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