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渦輪分子泵與油擴(kuò)散泵相比具有啟動(dòng)快，有機(jī)蒸汽污染少和極限真空高等特點(diǎn).因此在氦質(zhì)譜檢漏儀中采用分子泵作為高真空系統(tǒng)，即使檢漏儀不用液氮冷阱，質(zhì)譜室也不致嚴(yán)重沾污，并能保持較低的本底或雜聲.這有利于氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度和穩(wěn)定性的提高，并且延長(zhǎng)離子源的使用壽命.

氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測(cè)氦氣，而且能檢測(cè)其它氣體。分子泵排氣系統(tǒng)取代擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng)，不僅解決了油蒸氣對(duì)質(zhì)譜室的污染問(wèn)題，而且對(duì)快速啟動(dòng)儀器和快速停機(jī)做出了很大貢獻(xiàn)。氦質(zhì)譜檢漏儀中沒(méi)有手動(dòng)閥，現(xiàn)已采用自控閥自動(dòng)調(diào)節(jié)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的誤差。同時(shí)用渦輪分子泵取代了油擴(kuò)散泵，以消除可能造成的油返流。計(jì)算機(jī)技術(shù)也在檢漏儀中獲得應(yīng)用。運(yùn)轉(zhuǎn)、控制和輸出數(shù)據(jù)均由計(jì)算機(jī)自動(dòng)操作完成。

我們都知道，旋轉(zhuǎn)機(jī)械的不平衡是引起振動(dòng)的常見(jiàn)原因之一，由此產(chǎn)生的振動(dòng)力取決于旋轉(zhuǎn)速度以及不平衡的程度。而在高速旋轉(zhuǎn)的機(jī)械中，不平衡則是非常嚴(yán)重的問(wèn)題。尤其對(duì)轉(zhuǎn)子速度高達(dá)90000rpm（1500rpm/sec）的渦輪分子泵而言，對(duì)于動(dòng)平衡品質(zhì)的要求極高，哪怕是幾毫克范圍內(nèi)輕微的不平衡，都會(huì)對(duì)泵的運(yùn)行產(chǎn)生重大影響。因此，渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子需要做精密的動(dòng)平衡，品質(zhì)好的動(dòng)平衡既關(guān)系到轉(zhuǎn)子的平穩(wěn)運(yùn)行，也關(guān)系到渦輪分子泵的磨損，還可確保將傳遞到真空腔室和用戶應(yīng)用系統(tǒng)上的振動(dòng)降至很低。

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許多設(shè)備在工作時(shí)都會(huì)產(chǎn)生磁場(chǎng)，ULVACNRL90A干式真空泵維修廠家，比如，家用電冰箱的磁場(chǎng)強(qiáng)度約有10高斯（1mT），MRI（）的磁場(chǎng)強(qiáng)度甚至?xí)哌_(dá)3T；盡管可以采取屏蔽等措施，仍然可能會(huì)有外漏的雜散磁場(chǎng)，對(duì)工作在附近的分子泵產(chǎn)生不好的影響。磁場(chǎng)對(duì)渦輪分子泵的可能影響當(dāng)渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子在磁場(chǎng)中旋轉(zhuǎn)時(shí)，會(huì)產(chǎn)生渦流。這些電流傾向于阻礙轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，并導(dǎo)致電機(jī)的功率增大。

由于泵轉(zhuǎn)子不與定子接觸，渦生的熱量和額外的功率主要通過(guò)輻射消散。因此，轉(zhuǎn)子可能會(huì)過(guò)熱，即使泵體及其它靜止的部件仍然是冷的。為了確認(rèn)磁場(chǎng)對(duì)分子泵工作的影響，德國(guó)卡爾斯魯厄理工學(xué)院（）設(shè)計(jì)并執(zhí)行了下面的測(cè)試：測(cè)試條件和裝置被測(cè)分子泵的型號(hào)為TwisTorr304FSCFF6，使用一對(duì)亥姆霍茲線圈(直徑120厘米)來(lái)產(chǎn)生包圍整個(gè)泵的均勻磁場(chǎng)。

被測(cè)分子泵由一臺(tái)渦旋干泵作為前級(jí)，分子泵的進(jìn)氣口壓力抽至1E-3mbar以下（該壓力以下，熱對(duì)流幾乎為零，分子泵轉(zhuǎn)子的熱量?jī)H可以通過(guò)輻射傳遞出去很小的一部分）。使用20℃的冷卻水對(duì)分子泵持續(xù)進(jìn)行冷卻；分子泵的控制器會(huì)自動(dòng)調(diào)整電機(jī)電流，保持轉(zhuǎn)子以恒定轉(zhuǎn)速運(yùn)行。

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在正常工作時(shí)，可把水溫調(diào)節(jié)到略高于來(lái)消除泵體外部可能形成的冷凝物。

啟動(dòng)系統(tǒng)要先接通冷卻水流，打開(kāi)前級(jí)管道閥門，再同時(shí)啟動(dòng)機(jī)械泵和渦輪分子泵。在泵加速到額定轉(zhuǎn)速（一般為5到10min）后，就可加注液氮冷阱。此后就可按上節(jié)所介紹的步驟對(duì)真空室進(jìn)行抽氣。所給出的不用高真空閥門的抽氣系統(tǒng)的操作，要比有閥門的抽氣系統(tǒng)簡(jiǎn)便得多。操作時(shí)，先打開(kāi)冷卻水和前級(jí)管道閥，并同時(shí)啟動(dòng)機(jī)械泵和渦輪分子泵。如粗抽泵選擇得當(dāng)，使真空室的粗抽時(shí)間等于加速時(shí)間，那么真空系統(tǒng)就能在沒(méi)有泵油蒸氣返流的情況下把真空室抽到其本底壓力。

1-檢漏接口閥；2-渦輪分子泵；3-放氣閥；4-電離規(guī)；5-熱傳導(dǎo)規(guī)；6-真空管路閥；7-電磁放氣閥；8-機(jī)械泵。圖2 不用閥門的渦輪分子泵抽氣系統(tǒng)無(wú)閥門系統(tǒng)在放氣和停機(jī)時(shí)，首先關(guān)閉前級(jí)管道閥，等泵轉(zhuǎn)速下降到很大轉(zhuǎn)速的50%時(shí)再在泵的上方充入干燥氣體。當(dāng)系統(tǒng)充到大氣壓時(shí)應(yīng)關(guān)閉放氣閥門，否則會(huì)造成真空室過(guò)壓。然后按上述介紹的方法關(guān)掉機(jī)械泵并停掉冷卻水。

沒(méi)有單設(shè)粗抽管路的渦輪分子泵系統(tǒng)的操作：先打開(kāi)分子泵冷卻系統(tǒng)和前級(jí)管路閥，并同時(shí)啟動(dòng)前級(jí)（粗抽）機(jī)械泵和渦輪分子泵。如果粗抽泵（前級(jí)泵）選擇得當(dāng)，使真空室的粗抽時(shí)間等于分子泵的加速（啟動(dòng)）時(shí)間，則真空系統(tǒng)就能在沒(méi)有泵油蒸汽返流的情況下把真空室抽到其本底壓力。

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