真空設(shè)備檢漏

一個(gè)真空系統(tǒng)，經(jīng)相當(dāng)長(zhǎng)時(shí)間抽氣之后，氦檢漏系統(tǒng)，仍然達(dá)不到預(yù)期的真空度，可能的原因有:抽氣情況不良，即抽氣系統(tǒng)本身的問(wèn)題。放氣，即真空系統(tǒng)或容器內(nèi)部存在氣體或氣源。漏氣，即真空系統(tǒng)或被抽容器存在漏孔或縫隙。至于漏氣是檢漏技術(shù)所要解決的問(wèn)題，即準(zhǔn)確檢出漏孔并加以修補(bǔ)。常規(guī)檢漏內(nèi)容包括:用適當(dāng)?shù)姆椒ㄅ袛嗾婵障到y(tǒng)中漏氣問(wèn)題是否存在。確定漏氣率。找出泄漏部位，以便修補(bǔ)堵漏。

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氫氣檢漏法

鈉焰法

鈉焰法的測(cè)試塵源為多分散相氯化鈉鹽霧，“量”為含鹽霧燃燒時(shí)氫氣火焰的亮度。

鹽水在壓縮空氣的攪動(dòng)下飛濺，經(jīng)干燥形成微小鹽晶體顆粒并進(jìn)入風(fēng)道，在過(guò)濾器前后分別采樣。

含鹽霧氣樣使氫氣火焰的顏色變藍(lán)、亮度增加，以火焰的亮度來(lái)判斷空氣的鹽霧濃度，并以此確定過(guò)濾器對(duì)鹽霧的過(guò)濾效率。

主要檢測(cè)儀器為火焰光度計(jì)，該方法只能海綿檢測(cè)靈敏度不高，不能對(duì)超過(guò)濾器檢測(cè)。

氫氣檢漏

油霧法

油霧法的測(cè)試塵源為油霧，“量”為含油霧空氣的濁度，以過(guò)濾器前后氣樣的濁度差別來(lái)判斷過(guò)濾器對(duì)油霧顆粒的過(guò)濾效率。

德國(guó)規(guī)定使用石蠟油，油霧粒徑為0.3~0.5微米。油霧法在檢測(cè)過(guò)濾器時(shí)，高壓柜氦檢漏系統(tǒng)，容易對(duì)過(guò)濾器造成損傷，且不能直接讀值，浪費(fèi)時(shí)間。

DOP法

這種方法曾經(jīng)是國(guó)際上測(cè)試過(guò)濾器海綿常用的方法。

它的測(cè)試塵源為0.3微米單分散相鄰苯二甲酸二辛酯(DOP)液滴，也稱為“熱DOP”，“量”為含DOP空氣的渾濁程度。

將DOP液體加熱成蒸汽，包膜式氦檢漏系統(tǒng)，蒸汽在特定的條件下冷凝成微小液滴，去掉過(guò)大和過(guò)小的液滴后留下0.3微米左右的顆粒，進(jìn)入風(fēng)道，通過(guò)測(cè)量過(guò)濾器前后氣樣的濁度，并由此判斷過(guò)濾器對(duì)0.3微米粉塵的過(guò)濾效率。

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