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渦輪分子泵與油擴散泵相比具有啟動快，有機蒸汽污染少和極限真空高等特點.因此在氦質(zhì)譜檢漏儀中采用分子泵作為高真空系統(tǒng)，肇慶愛發(fā)科真空泵有油，即使檢漏儀不用液氮冷阱，質(zhì)譜室也不致嚴重沾污，并能保持較低的本底或雜聲.這有利于氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度和穩(wěn)定性的提高，并且延長離子源的使用壽命.

氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。分子泵排氣系統(tǒng)取代擴散泵排氣系統(tǒng)，不僅解決了油蒸氣對質(zhì)譜室的污染問題，而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。氦質(zhì)譜檢漏儀中沒有手動閥，現(xiàn)已采用自控閥自動調(diào)節(jié)運轉(zhuǎn)時的誤差。同時用渦輪分子泵取代了油擴散泵，以消除可能造成的油返流。計算機技術(shù)也在檢漏儀中獲得應用。運轉(zhuǎn)、控制和輸出數(shù)據(jù)均由計算機自動操作完成。

我們都知道，旋轉(zhuǎn)機械的不平衡是引起振動的常見原因之一，由此產(chǎn)生的振動力取決于旋轉(zhuǎn)速度以及不平衡的程度。而在高速旋轉(zhuǎn)的機械中，不平衡則是非常嚴重的問題。尤其對轉(zhuǎn)子速度高達90000rpm（1500rpm/sec）的渦輪分子泵而言，對于動平衡品質(zhì)的要求極高，哪怕是幾毫克范圍內(nèi)輕微的不平衡，都會對泵的運行產(chǎn)生重大影響。因此，渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子需要做精密的動平衡，品質(zhì)好的動平衡既關(guān)系到轉(zhuǎn)子的平穩(wěn)運行，也關(guān)系到渦輪分子泵的磨損，還可確保將傳遞到真空腔室和用戶應用系統(tǒng)上的振動降至很低。

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分子泵使用過程出現(xiàn)的問題8總體安裝注意事項

①、安裝前應檢查分子泵運輸中是否被損壞。②、打開泵高真空端法蘭蓋板，戴好手套，撥動渦輪轉(zhuǎn)子，愛發(fā)科真空泵有油R8000供應，應轉(zhuǎn)動靈活，無異?，F(xiàn)象。③、安裝環(huán)境應符合技術(shù)要求和真空衛(wèi)生要求。④、確認防護網(wǎng)已安裝，特殊情況下定做特殊防護網(wǎng)。⑤、確認已裝入潤滑油。⑥、安裝方向：油繩潤滑：豎直、水平；油潤滑：豎直方向±5°范圍內(nèi)；脂潤滑：任意角度

是異物掉入;沒有安裝過濾網(wǎng)使肯定不行的，另外掉進去的東西不一定要多大，但如果硬度夠了一樣會造成傷害，輕則造成葉片邊緣被打成鋸齒狀，重則打碎葉片。所以現(xiàn)在的設備商在安裝分子泵的時候會盡量改為側(cè)面90度或倒立安裝，避免異物掉入。電壓的不穩(wěn)定，特別對磁浮類的分子泵損傷較大。前級泵的效率差;我們知道腔體內(nèi)的大部分氣體首先是通過前級泵抽出，真空達到一定程度分子泵才會啟動。

如果前級泵的效率差，分子泵就會比較吃力，啟動速度慢，抽氣時間長，電流高，分子泵溫度升高等。⑤、、分子泵保養(yǎng)時的動平衡沒有做好，這是技術(shù)的關(guān)鍵，動平衡差，愛發(fā)科真空泵有油R-4供應商，振動就大，抽氣效率就差，也容易造成軸承部分的過度磨損。⑥、軸承部分沒有使用原廠的標準軸承，效果和尺寸不標準等。

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分子束外延MBE是一種晶體生長技術(shù)，首先將待成長的芯片放置在超高真空腔體中（~10-10Torr），和將需要生長的單晶物質(zhì)按元素的不同分別放在噴射爐中，當爐溫升至一定溫度時，爐中的材料會以原子束或分子束的形式蒸發(fā)出來，此時基板也被加熱至一適當?shù)臏囟?，分子束射至基板時，就會與基板表面的原子結(jié)合而生長出極薄的，可薄至單原子層水平，單晶體和幾種物質(zhì)交替的超晶格結(jié)構(gòu).

描隧道顯微鏡STM是根據(jù)力學中的隧道效應原理，通過探測固體表面原子中電子的隧道電流來分辨固體表面形貌的新型顯微裝置.用客戶案例:某大學自主搭建分子束外延與掃描隧道顯微鏡系統(tǒng)，經(jīng)過愛發(fā)科推薦，采用分子泵和渦輪分子泵80并搭配美國HVA真空閘閥成功分析生長晶體表面結(jié)構(gòu)。

渦輪分子泵抽速范圍10至2700L/S，愛發(fā)科真空泵有油R-7聯(lián)系方式，轉(zhuǎn)速很高90，000rpm，極限真空很大1E-11mbar，對小分子氣體具有更高的壓縮比，實踐證明渦輪分子泵運行時間可以達到100，000小時!分子泵提供復合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應用，推薦搭配旋片泵和干泵共同使用.

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