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質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍是個(gè)什么概念?
質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門, 閥門能使通過(guò)控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測(cè)量的滿量程, 在工作的過(guò)程當(dāng)中, 控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降, 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于值(0.1 MPa), 有可能控制達(dá)不到滿量程值; 若高于值(0.3MPa),氣體質(zhì)量流量計(jì)控制單元哪家好, 有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時(shí), 無(wú)論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓, 應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi), 并且要求氣壓要相對(duì)穩(wěn)定。
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FSCU 用途
將 FSCU 嵌入到應(yīng)用系統(tǒng)中,F(xiàn)SCU 可通過(guò)觸摸屏、PLC、PC 軟件等上位機(jī)系統(tǒng)控制國(guó)內(nèi)外主流流量控制器(如北京七星華創(chuàng)、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat 等品牌)及截止閥,可以讀取氣路中壓力信號(hào)或溫度信號(hào)并進(jìn)行轉(zhuǎn)換,從而實(shí)現(xiàn)氣路中常用元件的程序控制,實(shí)現(xiàn)溫壓修正、MFC故障診斷、氣路截止等一系列聯(lián)動(dòng)功能。
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電磁流量計(jì)流體控制注意事項(xiàng)
控制流體邊界層的分離點(diǎn),在吸入側(cè),從主導(dǎo)壓孔到輔助導(dǎo)孔旋渦的分離被有效控制。而在吹出側(cè),旋渦從主導(dǎo)壓孔開始形成,并從主導(dǎo)壓孔向下游輔助導(dǎo)壓孔運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中得到充分的增強(qiáng)。流體控制元件快易優(yōu)自動(dòng)化選型里有收錄。
該電壓信號(hào)經(jīng)過(guò)放大之后,提高橋路的直流供電電壓,從而增大了熱絲的解熱電流,氣體質(zhì)量流量計(jì)控制單元多少錢,使熱絲的溫度回升到原來(lái)的溫度。旋渦交替分離時(shí),在發(fā)生體兩側(cè)產(chǎn)生交變的壓力表,迫使流體從發(fā)生體一側(cè)主、輔導(dǎo)壓孔吸入,經(jīng)過(guò)熱絲檢測(cè)元件,再?gòu)牧硪粋?cè)的主、輔導(dǎo)壓孔吹出,實(shí)現(xiàn)旋渦分離信號(hào)檢測(cè)。在發(fā)生體內(nèi)腔,設(shè)置了隔墻,在隔墻的槽內(nèi),安裝了鉑絲檢測(cè)元件。為了提高檢測(cè)元件的響應(yīng)速度,應(yīng)該減小檢測(cè)元件的熱容量和時(shí)間常數(shù),因此鉑絲很細(xì)。
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