流量控制器的原理是什么？

質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。質(zhì)量流量控制器的剖面結(jié)構(gòu)圖見圖1。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大， 放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進行比較， 再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，流量計算器公司，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源，數(shù)字電壓表， 設(shè)定電位器， 外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。氣體質(zhì)量流量控制器與流量顯示儀連接后的工作原理。

流量控制器的控制響應速度

物理時間常數(shù)

物理時間常數(shù)用希臘字母Tau來表示，是現(xiàn)今為數(shù)不多的用來描述響應時間的標準之一，即：控制器到達設(shè)定值某個百分比所需要的時間，被定義為1-1/e， 其中e是作為自然對數(shù)底數(shù)的無理數(shù)，其值為2.72，所以1-1/e即為設(shè)定值的63.2%。雖然該定義是一個物理標準，可能說明不了什么問題，因為余下的設(shè)定值的36.8%所花費的時間可能多于或少于之前的63.2%。從下面示波器截圖中可以看到：ALICAT?質(zhì)量流量控制器僅用了7.4毫秒便到達了設(shè)定值的63.2%。

任意設(shè)定值百分比變化區(qū)域

不少質(zhì)量流量控制器的技術(shù)參數(shù)采用設(shè)定值某一百分比區(qū)間內(nèi)的變化來定義設(shè)備響應速度，比如：從設(shè)定值的10%到達90%所需要的時間。由于和后的 10%控制響應曲線變化，天津流量計算器，由此而得出的控制響應速度可能無法與實際的控制性能等同。如下圖所示，ALICAT?質(zhì)量流量控制器用了11.4毫秒到達設(shè)定值， 從示波器波形圖中可以清晰地觀察到：50%那段跨度，低于10%和高于90%那兩段的跨度則小了很多。就該圖而言，如果按照從設(shè)定值10%到達90%所用的時間來定義設(shè)備響應速度的話，那么結(jié)論是6~7毫秒。

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流量控制器

怎樣進行不同氣體的質(zhì)量流量換算？

產(chǎn)品出廠一般是按氮氣標定﹑按氮氣流量確定流量規(guī)格。用同一規(guī)格的MFM/MFC測量不同的氣體，當流量檢測值相同時，實際的流量值可能不同。我們在說明書中給出了不同氣體相對于標定氣體（氮氣）的質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)。

如果您使用的產(chǎn)品是標準出廠產(chǎn)品（按氮氣標定顯示），而需要知道實際使用氣體的質(zhì)量流量時，先在產(chǎn)品說明書中找到實際使用氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)。在測量過程中，以此系數(shù)乘以流量顯示值即是實際使用氣體的質(zhì)量流量；反之，流量計算器廠家，在確定所購產(chǎn)品的量程時，以實際使用氣體的期望流量值除以轉(zhuǎn)換系數(shù)，流量計算器多少錢，即是相應的氮氣標定產(chǎn)品的流量值。

空氣、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等氣體，其轉(zhuǎn)換系數(shù)約為1.0 ， 一般可直接用按氮氣標定顯示的產(chǎn)品，不必換算。

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