背壓法氦質(zhì)譜檢漏

采用背壓法檢漏時(shí)，氦檢漏生產(chǎn)廠家，首先將被檢產(chǎn)品置于高壓的氦氣室中，浸泡數(shù)小時(shí)或數(shù)天，如果被檢產(chǎn)品表面有漏孔，杜瓦瓶氦檢漏生產(chǎn)廠家，氦氣便通過漏孔壓入被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔中，使內(nèi)部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產(chǎn)品，將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產(chǎn)品放入與檢漏儀相連的真空容器內(nèi)，被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔內(nèi)的氦氣會(huì)通過漏孔泄漏到真空容器，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率測(cè)量。檢漏儀給出的漏率值為測(cè)量漏率，需要通過換算公式計(jì)算出被檢產(chǎn)品的等效標(biāo)準(zhǔn)漏率。

背壓法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高，能實(shí)現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測(cè)，可以進(jìn)行批量化檢測(cè)。

背壓法的缺點(diǎn)是不能進(jìn)行大型密封容器的漏，否則由于密封腔體容積太大，導(dǎo)致加壓時(shí)間太長(zhǎng)。此外，半導(dǎo)體氦檢漏生產(chǎn)廠家，每個(gè)測(cè)量漏率都對(duì)應(yīng)兩個(gè)等效標(biāo)準(zhǔn)漏率，在細(xì)檢完成后還需要采用其它方法進(jìn)行粗檢，排除大漏的可能。

背壓法的檢漏標(biāo)準(zhǔn)主要有QJ3212-2005《氦質(zhì)譜背壓檢漏方法》、GJB360A-1996《電子及電氣元件試驗(yàn)方法方法112 密封試驗(yàn)》，主要應(yīng)用于各種電子元器件產(chǎn)品檢漏。

壓力容器氦檢漏技術(shù)

什么是氦質(zhì)譜儀？

專門設(shè)計(jì)的把氦示蹤氣體進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀稱為氦質(zhì)譜檢漏儀。氦質(zhì)譜檢漏儀的原理是，高壓開關(guān)氦檢漏生產(chǎn)廠家，當(dāng)一個(gè)帶電質(zhì)點(diǎn)（正離子）以一定速度V進(jìn)入均勻磁場(chǎng)的分析器中后，如果速度V的方向和磁場(chǎng)H的方向相垂直，它的運(yùn)動(dòng)軌跡為圓，不同質(zhì)合比（m/e）的粒子在磁場(chǎng)中有相應(yīng)的運(yùn)動(dòng)軌跡，這樣，不同荷質(zhì)比的帶電粒子在磁場(chǎng)運(yùn)動(dòng)后會(huì)分開，如果在粒子運(yùn)動(dòng)路徑中安裝一塊擋板將其他粒子擋掉，而在氦粒子的運(yùn)動(dòng)路徑開一個(gè)狹縫而被接收極接收形成氦離子流，并經(jīng)過放大器放大而被測(cè)量?jī)x指示出來。檢漏時(shí)，氦氣進(jìn)入檢漏儀氦質(zhì)譜室中，使儀器發(fā)生靈敏的反應(yīng)，產(chǎn)生檢漏的作用。

由于空氣中氦氣，氦質(zhì)譜儀的本底電流及噪音也很少，因此可將示漏氦氣的信號(hào)盡量放大而不怕空氣的影響，這樣可以測(cè)出極為弱小的訊號(hào)，從而檢出的漏孔；由于氦氣是惰性氣體，具有分子小，質(zhì)量輕，擴(kuò)散快，穿透性強(qiáng)，響應(yīng)快且穩(wěn)定，加之不起化學(xué)作用，不污染工件，操作安全等特點(diǎn)，導(dǎo)致使用氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)（簡(jiǎn)稱氦檢漏技術(shù)）日益受到重視。

氦檢漏步驟

1、抽真空至5Pa以下就可以開始檢測(cè)。

2、插上檢漏儀電源，關(guān)閉上部手動(dòng)擋板閥，開啟檢漏儀總電源，此時(shí)，“放氣”燈亮起，等待系統(tǒng)運(yùn)行

3、當(dāng)”系統(tǒng)正常”及旁邊的兩個(gè)燈都顯示為綠色時(shí)，觀察預(yù)置參數(shù)，應(yīng)為10-15，一般取15，觀察數(shù)值，應(yīng)為10的-8至-9次方時(shí)，可以開始檢漏(等待幾分鐘)

4、按"檢漏”鍵，緩慢開啟頂部手動(dòng)擋板閥，注意:檢漏口的壓強(qiáng)不得超過10MPa，否則機(jī)器易損壞，

5、 數(shù)值穩(wěn)定后，先記錄下來，這就是. "本底”

6、逐個(gè)將氦氣充入焊縫，并封堵插入口，將數(shù)值變動(dòng)記錄下來。全部完成充氦后再觀察20分鐘，看數(shù)值有無大的變動(dòng)。

7、關(guān)機(jī)時(shí)，應(yīng)先關(guān)閉上部手動(dòng)擋板閥，然后開啟放氣鍵，后關(guān)電源。

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