渦旋真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域

渦旋泵已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：薄膜制造設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備?？茖W(xué)儀器行業(yè)：同步輻射光束線機(jī)、電子顯微鏡、極光試驗(yàn)設(shè)備、分析測(cè)試儀器。機(jī)械設(shè)備行業(yè)：材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)、材料提純?cè)O(shè)備、超高真空排氣設(shè)備。醫(yī)院設(shè)備行業(yè)：透析機(jī)、生物制備與藥品制備。包裝行業(yè)：食品、藥品、生物制品包裝設(shè)備等領(lǐng)域。渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級(jí)泵是獲得無(wú)油真空系統(tǒng)很好的配置。

渦旋真空泵的工作原理　　

渦旋真空泵的工作腔是由一對(duì)型線共軛的渦旋盤副嚙合安裝組成。渦旋盤就是在盤面開有一個(gè)或幾個(gè)漸開線螺旋槽的渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)體。一個(gè)靜渦旋盤與一個(gè)動(dòng)渦旋盤相互交錯(cuò)組裝在一起，動(dòng)、靜盤之間由防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)保證180°相位差，渦旋真空泵生產(chǎn)廠家，這樣組成的一對(duì)渦旋盤副構(gòu)成了無(wú)油渦旋真空泵的抽氣機(jī)構(gòu)。渦旋真空泵具有較高的壓縮比，在較寬的壓力范圍內(nèi)具有穩(wěn)定的抽速，由于壓縮腔容積的變化是連續(xù)的，因而驅(qū)動(dòng)扭矩變化小，功率變化小，振動(dòng)噪聲低，渦旋真空泵價(jià)格，這是其他類型的干式真空泵所不具備的。

渦旋真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

渦旋真空泵主要由5 個(gè)部件組成：

（1）動(dòng)靜渦旋盤副與基座；一個(gè)或幾個(gè)漸開線螺旋形成的一個(gè)渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)體。一個(gè)靜渦旋盤與一個(gè)動(dòng)渦旋盤相互交錯(cuò)， 兩者之間保證180°相位差組成的一對(duì)渦旋盤副機(jī)構(gòu)。

（2）曲軸：保證動(dòng)渦旋盤繞靜渦旋盤轉(zhuǎn)動(dòng)的偏心機(jī)構(gòu)。

（3）密封件：保證動(dòng)、靜盤的端面齒頂密封等的密封裝置。

（4） 防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)：保證動(dòng)、靜盤180°相位差的機(jī)構(gòu)。

（5）電機(jī)：輸出約1500r/min的動(dòng)力機(jī)構(gòu)。

它的主要運(yùn)動(dòng)件只有一個(gè)動(dòng)渦旋盤，因而動(dòng)力傳遞簡(jiǎn)單，河北渦旋真空泵，相同尺寸下運(yùn)動(dòng)半徑小、零部件少、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、整機(jī)尺寸小，動(dòng)、靜渦旋盤之間、動(dòng)盤與泵腔之間間隙小，泵內(nèi)運(yùn)動(dòng)件與泵腔無(wú)摩擦，所以幾乎無(wú)磨損，運(yùn)行平穩(wěn)，渦旋真空泵公司，消耗功率小，氣體流動(dòng)損失小，工作可靠性高、壽命長(zhǎng)，易于維修，維修費(fèi)用低。采用空氣冷卻，無(wú)需水冷。

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