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真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的原理與系統(tǒng)特點
真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的充氣回收檢漏系統(tǒng)
1.配置與氣路控制
真空箱:一般為雙工位,兩個不銹鋼真空箱,開門裝置可采用液壓方式,或加配重的手動方式。
工件抽空系統(tǒng):低真空泵及閥門,低真空測量充氮與回收系統(tǒng):氦氣儲存罐(高壓罐),氦氣回收取罐(低壓罐),主壓縮機,輔壓縮機,過濾器以及一些高壓閥和真空閥門等。
真空箱抽氣系統(tǒng):為自動控制型,由面板、PLC系統(tǒng)(可編程邏輯控制器),充氦回收系統(tǒng),真空箱抽氣系統(tǒng)的電路部分以及為自動檢漏過程提供參考信號的壓力傳感器和熱偶計,同時,實施對整個系統(tǒng)的工作控制,對檢漏過程和結(jié)果顯示。
2.系統(tǒng)檢測過程
1)、通過v1、V4,泵系統(tǒng)對工件和真空箱抽真空,如果限定的時間內(nèi)抽到限定的真空度,此時,電氣控制系統(tǒng)關(guān)閉V1,打開V2
2)、充氦系統(tǒng)通過V2對工件進行充氦至核定的壓力,穩(wěn)定,關(guān)閉V2
3)、關(guān)閉V4,打開V3、V5,處在正常工作狀態(tài)待命的氦質(zhì)譜檢漏儀進行檢漏,如果不漏,電氣控制系統(tǒng)指揮關(guān)斷V3、V5,避雷器氦檢漏系統(tǒng)哪家好,打開V2對氦氣進行回收。
4)、關(guān)閉V2打開V6對真空箱放氣,開啟真空箱更換工件。
5)、如果第三點檢漏儀檢測到超過設(shè)定值(漏率)的工件,檢漏儀聲光報警,將:工作內(nèi)的氦氣回收,對真空箱和管道巾的氦氣通過清潔泵抽除,避雷器氦檢漏系統(tǒng)公司,免得影響檢漏儀的檢測效果和不污染檢漏儀。
6)、維持泵有一定的氦分流作用,不宜過大(不超過41),避雷器氦檢漏系統(tǒng),清潔泵也同樣。
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逆流氦質(zhì)譜檢漏儀
逆流氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)特點如圖5所示。該類儀器是根據(jù)油擴散泵或分子泵的壓縮比與氣體種類有關(guān)的原理制成的。例如,多級油擴散泵對氦氣的壓縮比為102;對空氣中其它成分的壓縮比為lO4~106。檢漏時,通過被檢件上漏孔進入主抽泵前級部位的氦氣,仍有部分返流到質(zhì)譜室中去,并由儀器的輸出指示示出漏氣訊號。這就是逆流氦頃質(zhì)譜檢漏儀的工作原理。
氦檢漏設(shè)備
氦質(zhì)譜檢漏儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計。單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器靈敏度為lO-9~10-12Pam3/s,廣泛地用于各種真空系統(tǒng)及零部件的檢漏。雙級串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型儀器與單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器相比較,本底噪聲顯著減小.其靈敏度可達10-14~10-15Pam3/s,避雷器氦檢漏系統(tǒng)多少錢,適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。逆流氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局,被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位,因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點.適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏,其靈敏度可達10-12Pam3/s。
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