用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因

1、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氮信號迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

2.氫氣有些性能(如質(zhì)量小、易通過漏孔)比氦還好，然而由于氫一方面有 危險，另- -方面在油擴(kuò)散泵中，由于油受熱裂解會產(chǎn):大量的碳和氫，使氫本底極高且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。

用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因

選擇示漏氣體(示蹤氣體）的原則是：它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低；檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高；它不會對人員、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患；價格低。

質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：

1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因?yàn)楸镜仔?，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反?yīng)出來，靈敏度高。

2、氦的質(zhì)量小（相對分子質(zhì)量為4），易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發(fā)現(xiàn)，河北氦檢漏設(shè)備多少錢，靈敏度高。

3、氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng)，不會污染被檢件，電子器件氦檢漏設(shè)備多少錢，使用安全。

4、在氦兩側(cè)的是氫（質(zhì)荷比為2）和雙電荷原子碳（質(zhì)荷比為6），質(zhì)荷比都與氦相差較大。這樣，它們在分析器中的偏轉(zhuǎn)半徑相差也大，容易分開，定標(biāo)找氦峰時，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對分析器制造精度的要求，易于加工。同時，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。

5、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

6.氫氣有些性能（如質(zhì)量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有易1爆危險，另一方面在油擴(kuò)散泵中，由于油受熱裂解會產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。

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氦檢漏設(shè)備

（1）對于壓氦法，不需要考慮地球干潔大氣氦分壓的影響。但是如果候檢環(huán)境大氣氦分壓顯著升高，對于內(nèi)腔有效容積大，且等效標(biāo)準(zhǔn)漏率小的密封器件，會加大測量漏率值，所以壓氦結(jié)束后，被檢器件應(yīng)盡快離開壓氦設(shè)備所在的房間。

對于預(yù)充氦法，地球干潔大氣氦分壓會使測量漏率通過極大值后出現(xiàn)值，且當(dāng)候檢時間與內(nèi)腔有效容積之比大于100 h/ cm3 時，值點(diǎn)仍處于分子流范圍，不能靠粗檢法鑒別，避雷器氦檢漏設(shè)備多少錢，所以需輔以壓氦法復(fù)檢，才能防止漏檢。

（3）地球干潔大氣氦分壓會使預(yù)充氦法候檢時間的特征點(diǎn)變大，高壓開關(guān)氦檢漏設(shè)備多少錢，從而擴(kuò)大了需要輔以壓氦法復(fù)檢的范圍，但第二特征點(diǎn)不變，也不影響壓氦法復(fù)檢的結(jié)果。

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