氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)和工作原理

氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)，其基本原理是根據(jù)離子在磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)時(shí)，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實(shí)現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時(shí)先打開抽空閥前級(jí)泵對(duì)檢漏接口抽真空，小型氦質(zhì)譜檢漏儀，當(dāng)真空度P1 優(yōu)于200 Pa 時(shí)，打開入口閥1、2，關(guān)閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測(cè)出來，此時(shí)檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。前級(jí)泵繼續(xù)對(duì)檢漏接口抽真空，當(dāng)P1降至20 Pa 時(shí)，入口閥2 關(guān)閉，入口閥3 打開，真空氦質(zhì)譜檢漏儀品牌，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間縮短，此時(shí)檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s。

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鋁制板翅式換熱器常用檢漏方法

肥皂泡法

在對(duì)板翅式換熱器進(jìn)行完強(qiáng)度試驗(yàn)前，一般對(duì)各介質(zhì)通道充入壓力值為0.1MPa-0.2Mpa 的干燥、潔凈、無油的氣體，在換熱器表面的焊縫處刷一定濃度的肥皂水，如果存在泄漏點(diǎn)，氦質(zhì)譜檢漏儀，會(huì)連續(xù)形成肥皂泡或者肥皂泡被吹飛。找出外漏點(diǎn)，并對(duì)所有介質(zhì)通道卸壓后，進(jìn)行補(bǔ)焊返修。

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氦質(zhì)譜檢漏儀的主要配置

北京科創(chuàng)鼎新真空技術(shù)有限公司（簡(jiǎn)稱：科創(chuàng)真空）是從事真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)、制造及真空技術(shù)服務(wù)的化公司。公司致力于真空氦檢漏設(shè)備、非標(biāo)真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)開發(fā)與制造。

1. 檢漏儀分子泵

2. 機(jī)械泵或者干泵

3. 定制檢漏儀電磁閥

4. 內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏口

5. 放大器

6. 采用質(zhì)譜模塊

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