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?氣瓶安全儲存的原則
氣瓶安全儲存的原則:
1. 應(yīng)置于倉庫儲存,須遵守國家危險品貯存法規(guī),氣瓶倉庫應(yīng)符合《建筑設(shè)計防火規(guī)范》的有關(guān)規(guī)定,必須配備有知識的技術(shù)人員,其庫房和場所應(yīng)設(shè)專人管理,配備可靠的個人安全防護用品,并設(shè)置"危險"、“嚴禁煙火”的標志。
2. 倉庫內(nèi)不得有地溝、暗道,不得明火和其他熱源,倉庫內(nèi)應(yīng)通風、干燥、避免陽光直射;儲存?zhèn)}庫和儲存間應(yīng)有良好的通風、降溫等設(shè)施,不得有地溝、暗道和底部通風孔,并且嚴禁任何管線穿過,應(yīng)避免陽光直射,避開性射線源。應(yīng)保證氣瓶瓶體干燥。夏季應(yīng)防止曝曬。
3. 盛裝易起聚合反應(yīng)或分解反應(yīng)氣體的氣瓶,必須根據(jù)氣體的性質(zhì)控制倉庫內(nèi)的高溫度、規(guī)定儲存期限,并應(yīng)避開線源。
氣體避免接觸火花、電流、電弧、必要的還要加裝防靜電裝置,氧化性氣體避免接觸油污、材料、使用管道要無油,有毒氣體使用時不可放在屋內(nèi),要有專門的氣體放置區(qū),腐蝕性氣體要避免人員接觸,氣體儲存區(qū)要嚴禁明火、嚴禁吸煙。
一、氣體和氧化性氣體使用時使用人員千萬不可自己混合,如需混合氣體需有技術(shù)條件的廠家來提供。
二、 氣體使用時所能接觸的材料,不能有和此種氣體不相容或起反應(yīng)的材料。
三、使用人員要按照所使用氣體質(zhì)做的性必要的防護措施(穿戴護照的安全眼睛、防毒面具、相應(yīng)材料的防護服、皮手套等),廢氣要按照合適的方法處理。
四、氣體要在保質(zhì)期內(nèi)使用,不可超期使用。
五、 氣體使用期間,如發(fā)現(xiàn)問題應(yīng)立即停止使用,待問題調(diào)查清楚并解決后方可繼續(xù)使用,如屬于氣體性質(zhì)原因所引起,應(yīng)終止使用,把剩余氣體按合適方法處理
二、有毒氣體,半導(dǎo)體氣體很多是對人體有害有毒,如PH3、ASH3、B2H6、CLF3、SIH2CL2、SIHCL3等;
三、助燃氣體,這些高純氣體自身不能燃燒,但若與可燃物、可燃氣體接觸,將幫助燃燒,應(yīng)在儲運使用中們加注意,如o2n2of2hf等窒息性氣體;
四、還有氣體性質(zhì)穩(wěn)定,也無毒性,但當它們排放在不通風的場所時,空氣中氧含量降到18%以下時,因缺氧會使人呼吸困難,若不能及時解救也會有危險甚至,這類氣體有氮氣、氬氣二氧化碳、氦氣等。
五、腐蝕性氣體,通常遇水就顯示其腐蝕性,如hcl、pocl3、hf等。許多氣體同時兼有多種性質(zhì),在這些氣體輸送、儲運、使用中應(yīng)予重視。
半導(dǎo)體生產(chǎn)用高純氣體不僅種類多,而且更重要的是對氣體品質(zhì)在很嚴格的要求。
電子氣體的應(yīng)用及類別!
自從半導(dǎo)體問世以來,高純度電子氣體的可靠供應(yīng)在電子行業(yè)是至關(guān)重要的。首先通過不同的氣體流把雜質(zhì)原子引入到半導(dǎo)體材料來生產(chǎn)個別半導(dǎo)體元件,然后加以混合,再送進名為外延生長過程的反應(yīng)容器中。
在制造集成電路的過程中,超過30種不同的電子氣體被用于蝕刻沉積氧化摻雜,和惰性保護的應(yīng)用?,F(xiàn)代晶片電路的嚴格要求規(guī)定,百萬份數(shù)十億份甚至萬億份的水平的微量雜質(zhì)將導(dǎo)致重大的缺陷,并由于高廢品率導(dǎo)致成本增加。
一個典型的半導(dǎo)體生產(chǎn)廠的輔助設(shè)施提供包括以下幾類電子氣體:
?氮氣通常利用分離空氣在現(xiàn)場生產(chǎn)。它被廣泛使用在許多過程中作為提供惰性環(huán)境或一個過程完成后的反應(yīng)氣體。
?氧氣也可以在現(xiàn)場生產(chǎn)或以低溫液體交付。它使用于把硅氧化-是所有半導(dǎo)體制造中關(guān)鍵的過程之一。
?氬通常以低溫液體交付,并用于為金屬的濺射沉積提供惰性環(huán)境,因為氮氣的反應(yīng)性高而導(dǎo)致形成金屬氮化物。
?氫氣可以在現(xiàn)場生產(chǎn)、以低溫液體或壓縮氣體交付-這取決于消耗速率。它是用于為金屬膜進行退火時提供一種還原環(huán)境。