標(biāo)準(zhǔn)氣體使用過(guò)程中應(yīng)該注意的方面：使用溫度的要求：由于標(biāo)準(zhǔn)氣體的配制壓力受組分飽和蒸氣壓的影響，有些有機(jī)氣體配制壓力往往很低，對(duì)于這一類(lèi)氣體我們要求氣體的使用溫度要高于15℃，如果房間溫度過(guò)低，對(duì)于那些不易氣化的組分會(huì)凝聚與鋼瓶壁上，這樣標(biāo)準(zhǔn)氣的濃度就會(huì)發(fā)生很大的變化，對(duì)于從低溫處取來(lái)的標(biāo)準(zhǔn)氣瓶一定要在溫度高于15℃的房間里放置一段時(shí)間，以便于凝聚于瓶壁上的組分完全氣化再使用，如果有必要可以適當(dāng)提高鋼瓶溫度，使用定要使鋼瓶?jī)?nèi)外溫度達(dá)到要求。




高純氮?dú)?/strong>主要用于電子工業(yè)，在集成電路、芯片（晶片）和相關(guān)元器件的生產(chǎn)過(guò)程中，高純氮?dú)馀c普通氮?dú)庀啾?，?duì)以下條件有嚴(yán)格要求，目般要求總雜質(zhì)含量集成電路要求：4ppm，芯片要求：1ppm或者更高，同時(shí)設(shè)計(jì)電子工業(yè)用高純氮裝置時(shí)，要重視裝置所在大氣組成的測(cè)定，且設(shè)計(jì)一定要留有余量。其難點(diǎn)和要點(diǎn)主要是、氫和水分的達(dá)標(biāo)，為此，要采取不同的凈除方法：（1）CO的凈除：利用壓縮機(jī)的壓縮熱，在觸媒的幫助下，通過(guò)催化反應(yīng)，除去，可以使產(chǎn)品中所含CO降低到0.1ppm以下。




CO2的凈除：通過(guò)分子篩床層吸附。（3）氫氣等低沸點(diǎn)組分的凈除：氫氣，氦氖氣都是沸點(diǎn)比氮?dú)獾偷慕M分，在轉(zhuǎn)化爐中，空氣中的氫氣生成水，然后從冷凝蒸發(fā)器排出不凝氣體，放空以使低沸點(diǎn)組分除去，但是其純度仍然不夠，仍需要通過(guò)特殊流程組織比如采用加設(shè)純氮精餾輔塔，在液氮頂部設(shè)置冷凝器，底部設(shè)置再沸器，增大循環(huán)倍率來(lái)除去低沸點(diǎn)的氫氣等雜質(zhì)。4）甲烷等高沸點(diǎn)組分的凈除：甲烷等烴類(lèi)氣體以及氪氙等稀有氣體的沸點(diǎn)比氮?dú)飧叩枚啵鼈儠?huì)全部濃縮到塔底的富氧液空中，達(dá)標(biāo)沒(méi)有問(wèn)題。（5）水分的凈除：通過(guò)分子篩床層吸附，同時(shí)水分有很高的沸點(diǎn)，達(dá)到要求沒(méi)問(wèn)題。（6）顆粒度：通過(guò)精密過(guò)濾器來(lái)滿足。




標(biāo)準(zhǔn)氣體的制備方法有多種，但在實(shí)際中常用的是：分壓（ISO6146）法、重量法（ISO6142）、靜態(tài)容積法（ISO6144）、質(zhì)量流量法（ISO7395）（參見(jiàn)《低溫與特氣》1983。986增刊）。這些方法的具有不同的應(yīng)用條件，如分壓法多用于混合氣體的生產(chǎn)，Ar—CO2、N2—SiH4，作為計(jì)量用的標(biāo)準(zhǔn)氣體生產(chǎn)，則多采用分壓法-----重量法相結(jié)合的方法，早在80年代前期，分析定值基本上都采取靜態(tài)容積法，該方法操作十分的簡(jiǎn)單、便利，所用的容器多為各種不同規(guī)格的玻璃大氣瓶，由于玻璃瓶采用shui銀稱(chēng)量確定容積，壓力采用大氣壓力計(jì)，所以，用此方法配制的標(biāo)準(zhǔn)氣體，具有相當(dāng)高的準(zhǔn)確度。