雙工位氦檢漏系統(tǒng)構(gòu)成

（1）粗抽機(jī)組：一般采用旋片泵或者滑閥泵作為粗抽真空使用，獲得從一個(gè)大氣壓到千帕級(jí)真空，并為后續(xù)精抽真空作準(zhǔn)備。

（2）精抽機(jī)組：一般采用羅茨泵作為精抽真空使用，獲得檢漏要求的真空，一般為5Pa左右。

（3）檢漏儀：是檢漏系統(tǒng)中的部件，檢漏儀執(zhí)行檢漏工作時(shí)，給出工件泄露量大小，并判斷工件是否合格，輸出控制信號(hào)。

（4）耐壓測(cè)試單元：通過(guò)向工件內(nèi)充注高壓氣體，一方面測(cè)試工件的耐壓性能。另一方面通過(guò)平衡、保壓過(guò)程，有傳感器感測(cè)壓力差，并由控制系統(tǒng)經(jīng)過(guò)計(jì)算分析判斷是否有大漏。

（5）工件抽空單元：為保證氦氣有循環(huán)過(guò)程中氦氣的純度，在向工件充注氦氣之前，抽出工件內(nèi)的空氣。

不同真空范圍內(nèi)的抽氣時(shí)間計(jì)算

高真空-超高真空領(lǐng)域的抽氣時(shí)間計(jì)算

這里所指的高真空至超高真空領(lǐng)域，是指真空度在0.2Pa以下，對(duì)于高真空領(lǐng)域，要充分考慮容器壁以及容器內(nèi)物體的氣體放出，因此，抽氣時(shí)間和抽氣速度的計(jì)算方法和低真空領(lǐng)域不同。

p(t)———到達(dá)壓強(qiáng)；

Se———實(shí)際抽氣速度；

Ql———腔體漏氣量；

Qg(t)———腔體內(nèi)部放出氣體量；

p0———初期壓強(qiáng)。

氣體的放出量Qg(t)隨著時(shí)間t而減少。計(jì)算開(kāi)始時(shí)，假定一個(gè)抽氣時(shí)間，根據(jù)當(dāng)時(shí)的放氣量來(lái)求得到達(dá)的真空度。如果計(jì)算結(jié)果p(t)和所需的真空度不一致，則重新假定時(shí)間，根據(jù)新假設(shè)時(shí)間的氣體放出量再次計(jì)算。不斷重復(fù)，終讓p(t)在所需的真空范圍內(nèi)。

高真空領(lǐng)域的抽氣時(shí)間計(jì)算遠(yuǎn)比低真空領(lǐng)域復(fù)雜。真空腔體的內(nèi)表面經(jīng)過(guò)酒精清洗和150～200℃烘烤處理的兩種情況下，后者的氣體放出會(huì)減少10%左右，因此使用同樣的抽氣泵所能到達(dá)的真空度也會(huì)更高一些。

真空腔體內(nèi)的部件形狀和材質(zhì)也極大地影響到達(dá)的真空度和抽氣時(shí)間。如果使用了樹(shù)脂類材料，則到達(dá)的真空度會(huì)比單純考慮金屬表面的氣體放出要差2～3個(gè)數(shù)量級(jí)。內(nèi)部使用螺釘時(shí)，螺紋部殘留的氣體隨著抽氣時(shí)間緩慢放出。為了加速螺紋部的氣體放出，要在螺釘中心穿孔，或在螺紋側(cè)面開(kāi)一個(gè)出氣孔。因此，內(nèi)部構(gòu)造越復(fù)雜，影響真空的因素就越多，要獲得高真空，設(shè)計(jì)上就更需要經(jīng)驗(yàn)。

不銹鋼焊接中存在的問(wèn)題

不銹鋼材料的耐腐蝕的性能和耐高、低溫應(yīng)用的性能都是很好的，但是經(jīng)過(guò)焊接后的不銹鋼焊縫及其熱影響區(qū)的情況就大為不同了，它存在著裂紋、氣孔、脆化、晶粒粗大的現(xiàn)象。因此，在制造超高真空和一般的高真空容器時(shí)，必須十分重視這個(gè)問(wèn)題。

奧氏體不銹鋼在焊接中及焊接后存在的問(wèn)題主要有:

(1)焊縫中的熱裂縫。奧氏體不銹鋼焊接工藝中應(yīng)該注意的問(wèn)題是焊縫金屬的熱裂縫(圖3-3)，在焊接熱影響區(qū)的晶界上析出鉻的碳化物以及產(chǎn)生焊接應(yīng)力。

真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)（不銹鋼超高真空容器的焊接）

(a)焊縫中的縱向裂縫; (b)焊縫中的橫向裂縫; (c)焊縫中弧坑裂縫;(d)熱影響區(qū)內(nèi)的橫向裂縫; (e) 熱影響區(qū)內(nèi)的縱向裂縫

熱裂縫也稱為結(jié)晶裂縫，是在焊接熔池的一次結(jié)晶過(guò)程中，當(dāng)焊縫金屬處于固-液體狀態(tài)時(shí)形成的，它們是由于相鄰的晶體沿晶間夾層被分開(kāi)的結(jié)果。

真空嚴(yán)密性試驗(yàn)技術(shù)指導(dǎo)（汽機(jī)定期試驗(yàn)）

1、操作危險(xiǎn)點(diǎn)、安全措施和注意事項(xiàng)（按工作順序填寫(xiě)與執(zhí)行）：

試驗(yàn)時(shí)，如真空下降至85kPa或低壓缸排汽溫度超過(guò)57℃，應(yīng)停止試驗(yàn)，啟動(dòng)真空泵運(yùn)行，恢復(fù)正常運(yùn)行方式。

試驗(yàn)時(shí)當(dāng)凝結(jié)水溫度大于45℃時(shí)，應(yīng)及時(shí)通知化學(xué)注意精處理運(yùn)行情況。當(dāng)凝結(jié)水溫度大于50℃時(shí)，應(yīng)及時(shí)通知化學(xué)退出精處理運(yùn)行。

2、試驗(yàn)方法及步驟

得值長(zhǎng)令，##號(hào)機(jī)組真空嚴(yán)密性試驗(yàn)。

確定 ##號(hào)機(jī)組負(fù)荷大于80%，運(yùn)行正常。

確定 ##號(hào)機(jī)組凝汽器真空應(yīng)大于90kPa以上。

確定真空泵良好，維持二臺(tái)運(yùn)行，一臺(tái)作備用。

確定有關(guān)真空數(shù)值（就地、LCD及DEH）顯示均正常。

解除機(jī)組協(xié)調(diào)控制，且鍋爐燃燒穩(wěn)定。

記錄機(jī)組負(fù)荷、凝汽器排汽溫度、凝結(jié)水溫度、真空等有關(guān)數(shù)據(jù)。

解除備用真空泵的聯(lián)鎖。

關(guān)閉兩臺(tái)運(yùn)行真空泵入口碟閥，并停止兩臺(tái)運(yùn)行真空泵，30秒后開(kāi)始記錄，每30秒記錄一次真空值。

8分鐘后試驗(yàn)結(jié)束，立即啟動(dòng)兩臺(tái)真空泵運(yùn)行，檢查入口碟閥聯(lián)開(kāi)正常。

取其中后5分鐘內(nèi)的平均值算出真空平均下降速度。真空嚴(yán)密性試驗(yàn)結(jié)果（ ）kPa/min，試驗(yàn)結(jié)果（ ）。

試驗(yàn)結(jié)束，匯報(bào)值長(zhǎng)并做好凝汽器真空嚴(yán)密性試驗(yàn)結(jié)果的分析和記錄。