氫氣檢漏法的主要設(shè)備

(1)檢漏儀：采用上述工作原理制造的專用氫氣檢漏儀，由于氫氣的上述性質(zhì)，其靈敏度可以達(dá)到與氦檢相同水平。

(2)示蹤氣體充注控制器：對于批量生產(chǎn)的用戶，采用示蹤氣體充注控制器進(jìn)行抽真空/充氣/排氣操作，可以完成對檢測管道的充氣和排氣過程自動化控制。

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真空設(shè)備檢漏

氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際上可以說是一個檢氦儀，通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。而對氦的檢測則使用的是質(zhì)譜儀，是只檢測氦的專用質(zhì)譜儀，這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。例如：客戶可以先使用壓降法檢查是否存在泄漏，之后再使用氫氣檢漏儀查找出泄漏位置。質(zhì)譜儀要想正常工作，需要真空環(huán)境。至少要在 10-3 mbar 以下，空氣的流動才體現(xiàn)為分子流，質(zhì)譜儀才能穩(wěn)定正常工作。所以檢漏儀中還有一套高真空系統(tǒng)。

并預(yù)先根據(jù)環(huán)境中氦的含量對檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。若需在抽真空方式下準(zhǔn)確地找到漏孔的

位置，可以通過對可yi位置噴氦并檢驗(yàn)漏率是否有明顯的上升來完成。

與抽真空方式相反，嗅探方式是通過測量待測器件內(nèi)部氣體經(jīng)由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少來獲得漏率的大小的。預(yù)先向待測器件內(nèi)充入一定氦氣，

封閉測試端口，將嗅探探頭連接至檢漏儀，用嗅探探頭對待測器件表面的可yi部位進(jìn)行掃描。如果發(fā)現(xiàn)漏率明顯的上升，便可判斷漏孔的位置。檢漏時將檢漏器的靈敏度調(diào)到最da，一邊移動探頭，一邊偵聽，使能聽到的超聲波發(fā)出的聲音達(dá)到最da。這種方式適合在待測器件內(nèi)部無法或者不能抽真空的情形下檢漏。但是，由于嗅探方式是通過檢測器壁外的大氣來進(jìn)行測量的，大氣中的氦會帶來一個較高的漏率本底。這個本底雖可通過置零來清除，但仍會降低嗅探方式的靈敏度（嗅探方式xiao可檢測漏率小于5×10－6Pa·L/s，而抽真空方式的小于5×10－10Pa·L/s）。