真空爐一般由主機、爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統(tǒng)、供電系統(tǒng)、控溫系統(tǒng)和爐外運輸車等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止?fàn)t殼受熱后變形和密封材料受熱變質(zhì)，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內(nèi)。根據(jù)爐子用途,爐膛內(nèi)部裝有不同類型的加熱元件，如電阻、感應(yīng)線圈、電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內(nèi)裝有坩堝，有的還裝有自動澆注裝置和裝卸料的機械手等。真空系統(tǒng)主要由真空泵、真空閥門和真空計等組成。

真空爐是什么工作原理

　　真空系統(tǒng)工作時，首一先啟動機械泵、維持泵和擴散泵（加熱），同時打開前級閥和維持泵閥，對擴散泵內(nèi)進行抽真空。當(dāng)真空度達到系統(tǒng)某一設(shè)定值時，羅茨泵啟 動，同時旁路閥打開，前級閥關(guān)閉，此時對真空室進行抽低真空當(dāng)擴散泵加熱至規(guī)定溫度并且真空度高于規(guī)定值時，高閥打開，旁路閥關(guān)閉，前級閥打開。此時對真 空室抽高真空，達到工藝要求的真空度以后，方可進行熱處理工作。熱加工過程完成后，由熱交換器對真空室充入高純氮氣進行強制冷卻，完成整個工藝過程。 

我國真空爐有著廣闊的發(fā)展前景： (1)開發(fā)真空感應(yīng)加熱技術(shù)。 (2)研發(fā)真空脫脂清洗技術(shù)與設(shè)備及推廣應(yīng)用。 (3)真空離子注入、真空離子涂覆技術(shù)和設(shè)備的開發(fā)和應(yīng)用。 (4)在計算機技術(shù)的推動下，廣泛應(yīng)用真空爐工藝C A D和真空爐設(shè)計C A D技術(shù)，實現(xiàn)真空爐工藝良好化和真空爐結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計。(5)廣泛采用計算機微電子技術(shù)及網(wǎng)絡(luò)技術(shù)，研制開發(fā)智能控制系統(tǒng)和網(wǎng)絡(luò)管理系統(tǒng)，實現(xiàn)真空爐工藝和設(shè)備的柔性化和連續(xù)作業(yè)。

 真空爐的各項技術(shù)指標(biāo)與其他熱處理設(shè)備有相似之處，但因其爐膛內(nèi)必須能承受負壓的作用，并能保持加熱零件的無氧化、脫碳，由于其特殊的結(jié)構(gòu)和加熱的特點，因此有些技術(shù)要求相對于比較嚴(yán)格，具體的主要技術(shù)參數(shù)歸納如下。

   a．額定功率(kW)和電壓(V)。

   b．電極相數(shù)。

   c．爐膛的有效加熱區(qū)尺寸(mm)。

   d．額定工作溫度(℃)。

   e．爐溫的均勻性(℃)。

   f．較大裝爐量(kg)。

   g．極限真空度(Pa)。

   h．工作真空度(Pa)。

   i．壓升率（Pa/min或Pa/h）。

   j．空爐抽空時間(min)。

   k．空爐升溫時間(min)。

   1．工件轉(zhuǎn)移時間(min)。

   m．氣體的消耗量（m3/爐）。

   n．冷卻水的消耗量(m3/h)。

   o．外形結(jié)構(gòu)尺寸(m)。

   p．爐體總重(kg)。