半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點

廢氣工程：由于半導(dǎo)體工藝對操作室清潔度要求極高，通常使用風(fēng)機抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。廢氣排放也以揮發(fā)為主。表中給出了不同生產(chǎn)工藝排放的廢氣組成。這些廢氣排放主要可以分為四類：酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣和有毒氣體。

空壓氣體工程：螺桿式空壓機組主要主要有以下系統(tǒng)組成：空氣流程系統(tǒng)、潤滑油流程系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、安全保護系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及電氣線路。螺桿式空壓機組主要有壓縮機、電動機、空氣濾清器、進氣閥、油氣桶、空氣冷卻器、潤滑油冷卻器壓力開關(guān)、單向閥、儲氣罐、壓力表、自動排水器、安全閥等設(shè)備部件。另外在空壓機系統(tǒng)中大多配置冷干機和空氣干燥器。

光電車間凈化工程是指不同級別

光電車間凈化工程是指不同級別電子廠凈化車間或電子實驗室的半導(dǎo)體、微電子、光電技術(shù)、光學(xué)儀器、PCB、食品、模具等工程。 光學(xué)微電子凈化工程 又稱清凈室或無塵室，目前已是精密制造、半導(dǎo)體、光學(xué)制造、液晶制造、線路板制造和、生物化學(xué)、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來，因技術(shù)的發(fā)展，對于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化的需求越發(fā)迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目。 按行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求，凈化級別從 10-30 萬級。凈化的程度也直接影響了電子產(chǎn)品制作的質(zhì)量。

頂部技術(shù)夾層。在這種夾層內(nèi)一般因送、回風(fēng)管的斷面,故作為

頂部技術(shù)夾層。在這種夾層內(nèi)一般因送、回風(fēng)管的斷面，故作為夾層內(nèi)首先考慮的對象。一般將其安排在夾層的上方，其下安排電氣管線。當(dāng)這種夾層的底板可承受一定重量時，可以在上面設(shè)置過濾器及排風(fēng)設(shè)備等。房間技術(shù)夾層。這種方式和只有頂部夾層相比，可以減少夾層的布線與高度，可以省去回風(fēng)管道返回上夾層所需的技術(shù)夾道。在下夾道內(nèi)還可設(shè)回風(fēng)機動力設(shè)備配電等，某層潔凈室的上夾道可以兼做上一層的下夾道。