流量器安裝使用注意事項

前置直管段

1）熱分布式 本類儀表對上下游配管布置不敏感，通常認(rèn)為無上下游直管段長度要求。國際標(biāo)草案ISO/DIS 11451認(rèn)為流量測量不受旋轉(zhuǎn)流和流速場剖面畸變影響。然而BS 7405卻認(rèn)為；①上下游直管段長度可小至2D；②在進口端置一金屬（或塑料）網(wǎng)，可有效地改善流速分布畸變，得到分布均勻的氣流；對于三氯化硼等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。③要防止從小管徑突然擴大進入較大口徑儀表，要緩慢過渡。

2）浸入式 帶測量管的浸入式流量傳感器和插入式儀表需要一定長度前置直管段，ISO/DIS 14511對此未作具體規(guī)定，而按制造廠建議的值。BS 7405建議對于在管道中用插入熱絲流速計時，需要(8~10)D的上游直管段和(3~5)D的下游直管段。表4列舉Sierra公司對帶測量管浸入式TMF所規(guī)定的上直管段長度；流量控制器內(nèi)有水怎么辦及注意事項一、當(dāng)無法忍受滲水后不得不購買一批新的設(shè)備，現(xiàn)在就不需要使用這種方法了，當(dāng)再有液態(tài)氨進入到質(zhì)量流量計或質(zhì)量流量控制器內(nèi)部時，只需簡單地用高壓氨氣沖洗管路后進行消毒即可。若在其進口端裝一塊或二快多孔板式流動調(diào)整器（整流器）后，則其長度可大為縮短。

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儀表連接管道的振動連接TMF的管道在常見實際范圍內(nèi)的振動不會產(chǎn)生振動干擾，在正常情況下不影響儀表的測量性能。惟插入式TMF的檢測桿必須牢固地固定于管道，并避免裝在有振動的場所。

脈動流的影響TMF響應(yīng)時間長，不適應(yīng)脈動流流量測量。若作測脈動流測量，應(yīng)了解TMF的響應(yīng)性，以保證能跟隨的上脈動的速度變化。脈動引起的測量誤差通常使儀表輸出偏高，其程度取決于脈動幅值和頻率。

什么是流量控制器？

質(zhì)量流量計，即Mass Flow Meter（縮寫為MFM）, 是一種準(zhǔn)確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補償。

質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進行流量設(shè)定，MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。簡單地說,質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置, 是一個可以手動設(shè)定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。質(zhì)量流量控制器具有體積小,數(shù)字化程度高,安裝方便,測雖確等優(yōu)點。

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流量控制器的工作壓差范圍是個什么概念?

質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個氣體流量調(diào)節(jié)閥門, 閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程, 在工作的過程當(dāng)中, 控制器的入口和出口之間會產(chǎn)生一個氣壓降, 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于值(0.1 MPa), 有可能控制達不到滿量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能關(guān)閉時流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時, 無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓, 應(yīng)做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi), 并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。該殘留物由于顆粒過重而干擾到氣體作層流運動并影響測量精度的幾率很小，但如果那樣的話，須使用清潔設(shè)備。

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