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什么是流量控制器
質量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。質量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。提高開表率在儀表設備管理中,開表率的定義是:(儀表總臺數一未正常使用的儀表臺數)/儀表總臺數。冶金,制藥等。特點:精度高,重復性好。
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流量控制器容易受這幾個方面的影響
質量流量控制器是一種測量氣體流量的儀表,其測量值不因溫度或壓力的波動而失準,不需要溫度壓力補償,可根據需要進行流量設定,自動地將流量恒定在設定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。可以地控制氣體的給定量,這對很多工藝過程的流量控制,是用于對于不同氣體的比例控制。直接測量氣體的質量流量,輸出質量流量信號,不用其他設備。質量流量計是不能控制流量的,它只能檢測液體或者氣體的質量流量,通過模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值??梢缘臏y量微小流量,采用分流裝置,又可以測量大流量,而且溫度,壓力范圍很大。
一、壓力狀況
在加氣機中使用的質量流量控制器測量的氣體的壓力不低于20MPa,壓力遠遠大于大氣壓。高壓改變了振動管的內應力,提高了彈性管的等效剛度,從而使振動管的振動頻率增大,兩管的相位差減?。粴怏w流經振動管時,存在壓降,使得振動管受力不對稱,這也對相位差有影響。與熱式原理不同,ALICAT質量流量計、質量流量控制器采用層流壓差技術,依托專利的層流片結構將氣體由湍流轉為層流運動,通過測量層流片兩端氣體壓力差的方法來測量流量。
二、溫度影響
用于加氣機的CMF工作溫度遠低于室溫,溫度影響必須考慮;介質溫度或環(huán)境溫度變化會改變測量振動管的楊氏模量和影響零漂的結構等各種因素。
三、流速問題
壓縮氣體密度低,流速快,其影響不能忽略。理想情況下,流速增大則振動管的振動頻率減小。通常流體密度變化小,可以認為流速與流體質量流量正比,因此流速的補償可以轉化為流量變化的非線性因素進行補償。
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流量控制器內有水怎么辦及注意事項
一、當無法忍受滲水后不得不購買一批新的設備,現(xiàn)在就不需要使用這種方法了,當再有液態(tài)氨進入到質量流量計或質量流量控制器內部時,只需簡單地用高壓氨氣沖洗管路后進行消毒即可。
二、排除液體的方法是怎樣的呢?液體中含有懸浮顆粒物,抽濕過程可能會留下固體顆粒,從而導致質量流量計或質量流量控制器內留有殘渣。如果設備是316L不銹鋼結構的耐腐蝕系列,那您大可高枕無憂,因為耐腐蝕系列的結構與液體流量計、液體流量控制器基本相同,可較大的程度地允許液體滲入。把好氣體質量流量控制器的安裝環(huán)節(jié),減少或消除機械應力、機械扭力和機械振動等對該流量計使用的影響。
質量流量計在平時使用的時候需要注意哪些事項呢?
一、在使用質量流量計的時候需要防止人為的斷電以及拆線,因為采取斷電以及拆信號線的方法會使得設備短時間不計量還會導致計量糾紛。
二、設備在使用條件上必須進行零點標定,該設備時屬于在線使用高精的測量儀表,長期使用時一定要定期的進行標定。
三、超過質量使用范圍會導致儀表測量的精度下降,還會導致儀表損壞等。
四、設備的精度高,所以價位也會高,并且還需要精心的維護,在振動以及使用條件進行經常檢查等,確保精度以及儀表的安全。
五、設備的應用成功與否跟安裝是有直接關系的,,需要整齊的安裝外,還需要減少振動的影響。
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