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設(shè)計(jì)千級(jí)凈化車間里的生產(chǎn)設(shè)備需要注意什么
首先,無(wú)塵凈化車間在設(shè)計(jì)上應(yīng)該充分體現(xiàn)出環(huán)保性理念,這點(diǎn)是車間設(shè)計(jì)中必須要注意的事項(xiàng)。并且為保證車間的安、全使用,設(shè)計(jì)者還應(yīng)該從布局以及設(shè)施的安、全范圍去考慮。應(yīng)盡量符合消防、防火的要求,按有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范進(jìn)行設(shè)計(jì)。由于無(wú)塵凈化車間的平面和空間布置特殊,在進(jìn)行各項(xiàng)技術(shù)設(shè)施的系統(tǒng)設(shè)計(jì)、設(shè)備配置時(shí)應(yīng)特別注意按規(guī)定選用符合要求的系統(tǒng)和設(shè)備。
半導(dǎo)體、集成電路生產(chǎn)的無(wú)塵車間要求
半導(dǎo)體材料提純作為發(fā)展半導(dǎo)體器件的重要基礎(chǔ)。由于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的工藝要求,為得到高純度的硅材料,原料和中間媒介的高純度和生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度成為影響產(chǎn)品質(zhì)量的一個(gè)突出問(wèn)題。集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關(guān),而芯片的缺陷密度與空氣中粒子個(gè)數(shù)有關(guān)。因此,集成電路的高速發(fā)展,不僅對(duì)空氣中控制粒子的尺寸有極高的要求,而且也需進(jìn)一步控制粒子數(shù);同時(shí),對(duì)于超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)環(huán)境的化學(xué)污染控制也有相關(guān)的要求。
獲取后到凈化車間圖紙之后,請(qǐng)注意以下的細(xì)節(jié)
1、主機(jī)位置主機(jī)是否品牌要求,補(bǔ)水泵水塔位置。
2、地面條件:是否具有防靜電凈化車間,記得要包括引號(hào)地樁,低價(jià)中標(biāo),如果你將很難看到,地面是否水平。
3、室內(nèi)照明設(shè)計(jì):100LUX約5.4瓦特/ m2200LUX約10.4瓦特/ m2300LUX約15.6W /平方米。
凈化車間的管線十分復(fù)雜,所以對(duì)這些管線均選用蔭蔽組織方法。詳細(xì)蔭蔽組織方法有以下幾種。
技能夾層
(1)頂部技能夾層。在這種夾層內(nèi)通常因送、回風(fēng)管的斷面大,故作為夾層內(nèi)首先思考的目標(biāo)。通常將其組織在夾層的上方,其下組織電氣管線。當(dāng)這種夾層的底板可接受必定分量時(shí),能夠在上面設(shè)置過(guò)濾器及排風(fēng)設(shè)備等。
(2)房間技能夾層。這種方法和只要頂部夾層比較,能夠削減夾層的布線與高度,能夠省去回風(fēng)管道回來(lái)上夾層所需的技能夾道。鄙人夾道內(nèi)還可設(shè)回風(fēng)機(jī)動(dòng)力設(shè)備配電等,某層凈化車間的上夾道能夠兼做上一層的下夾道。