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為什么用氦氣作為檢漏的氣體?
1.氦氣分子量小,擴(kuò)散性強(qiáng)、滲透率高,即可以通過(guò)較小的孔。
2.氦氣在空氣中的體積含量約為5ppm,這說(shuō)明正常空氣環(huán)境中氦氣的含量很小,即氦本底很好。
3.氦氣是無(wú)毒無(wú)色無(wú)味的惰性氣體,這就意味著,正常情況下其可以作為介質(zhì)在所有的物體中存在,且不發(fā)生反應(yīng)。
4.在質(zhì)譜儀譜圖中易于與其它物質(zhì)區(qū)分。
5.綜合以上幾個(gè)特點(diǎn),氦氣作為一種檢漏的示蹤氣體,是較佳的選擇。
氦氣檢漏是怎樣操作呢?
任何儀器在制作過(guò)程中難免會(huì)遇到密封不嚴(yán)的情況,某些不重要的設(shè)備中輕微的泄露沒(méi)有太大關(guān)系,但是在半導(dǎo)體器件、集成電路等重要電氣設(shè)備及儀器中,良好的密封才能決定儀器的正常使用,所以檢漏十分重要!市面上有各種檢漏儀器,常見(jiàn)的載氣有氮?dú)?、氫氣、氦氣等。氦氣檢漏大家想必都聽(tīng)說(shuō)過(guò),那么氦氣檢漏是怎樣的呢?氦氣檢漏是如何操作的呢?如果采用低壓力的檢漏氣體充注試件,抽空也是特別重要的,因?yàn)樵嚰袣埩舻目諝鈱⑾♂尦渥⒌臋z漏氣體。
在設(shè)備和廠房當(dāng)中,常常有一些管道等連接的部位,這些地方的封接處可能存在肉眼難以察覺(jué)的細(xì)小孔洞,在使用時(shí)如果不注意就會(huì)導(dǎo)致泄露,從而造成事故。在這 些地方氦氣怎么檢漏?利用氦氣是比氫氣小的第二輕的惰性氣體,氦氣在自然狀態(tài)下會(huì)向上垂直擴(kuò)散,在被檢測(cè)的管道中注入氦氣。如果這些設(shè)備有漏點(diǎn),那么我們就能通過(guò)監(jiān)測(cè)儀器探測(cè)到有氦氣在管道外部。這就是管道中氦氣檢漏的方法。如果充注前未抽空,試件中的空氣將被擠壓至幾何空間的終端,而檢漏氣體不可能進(jìn)入這個(gè)部位,從而潛在的漏孔將僅釋放空氣,檢漏儀則不能檢測(cè)到這些漏孔。
對(duì)于一些的細(xì)小電子元件,氦氣怎么檢漏呢?將要檢測(cè)的元件放入充滿氦氣的容器中并且加壓。在壓力的作用下,如果這些元件存在漏點(diǎn),必然會(huì)有氦氣通過(guò) 這些小孔進(jìn)入到元件內(nèi)部。使用壓縮空氣將元件表面的少量殘留氦氣吹掃干凈之后,再利用質(zhì)譜儀檢測(cè)元件表面泄露的氦氣??吹竭@里大家得注意,氦氣的價(jià)格不菲,進(jìn)行一次氦氣檢漏的費(fèi)用自然不低。真空法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高,可以,能實(shí)現(xiàn)大容器或復(fù)雜結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的檢漏。
氦氣怎么檢漏,氦氣檢漏就是利用了氦氣分子小能夠輕易進(jìn)入那些不被肉眼察覺(jué)的孔縫中,利用監(jiān)測(cè)儀器就能探測(cè)到孔縫中泄露出的氦氣。檢測(cè)時(shí)首先探測(cè)到氦氣的 ,得到氦氣的水含量,再利用色譜儀計(jì)算出氫氣、氧氣、C02氣體等雜質(zhì)。氦檢漏有兩種工藝,一種是背壓法,另一種則是真空箱法。因此,在測(cè)漏過(guò)程中采用較高的測(cè)試壓力,可有效檢測(cè)出在實(shí)際運(yùn)行中未出現(xiàn)的漏孔。
氦質(zhì)譜檢漏用氦氣的選擇
氦氣是一種無(wú)色、無(wú)味的隋性氣體。相對(duì)分子質(zhì)量為4.003,分子直徑為2.18×10-10m,分子的質(zhì)量為3.65×10-27kg,在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的密度為0.1769kg/m3,臨界溫度為5.25K,臨界壓力為2.26×105Pa,1atm壓力下的沸點(diǎn)為4.214K,熔點(diǎn)為0.9K,三相點(diǎn)溫度為2.186K,三相點(diǎn)壓力為51.1×10-2Pa,在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的熱導(dǎo)率為510.79J/(m·h·K),在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的定壓比熱為5233J/(kg·K),在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的動(dòng)力粘度系數(shù)為1.86×10-5Pa·s,1L液氦氣化為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氦氣體積為700L。再者漏孔離質(zhì)譜室的距離檢漏儀反應(yīng)時(shí)間也不同,所以噴氦應(yīng)先從靠近檢漏儀的一側(cè)開(kāi)始由近至遠(yuǎn)來(lái)進(jìn)行。