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圍繞塵埃來源和塵埃積聚對(duì)潔凈廠房保潔技術(shù)有如下要點(diǎn):
1、頂棚:頂棚材料多采用表面光滑材料,如彩鋼板、塑料板、鋁板、扣板,可以采用吸附力強(qiáng)的無塵抹布擦拭表面,并配合伸縮桿、老虎夾等工具使用,得心應(yīng)手。對(duì)凸凹不平處、陰角可用超濾塵工業(yè)吸塵機(jī)吸塵。
2、墻面:墻面材料多采用表面光滑材料,如玻璃、彩鋼板、塑料板、鋁板、扣板、不銹鋼板,可以采用吸附力強(qiáng)的無塵抹布、無塵抹水器擦拭表面,并配合玻璃刮、伸縮桿、老虎夾等工具使用,得心應(yīng)手。對(duì)凸凹不平處、陰角可用超濾塵工業(yè)吸塵機(jī)吸塵。
微電子C/R建設(shè)費(fèi)可能花費(fèi)到$10億。fab能更快的被建造起來,產(chǎn)品也就能更快達(dá)到這市場(chǎng)。許多半導(dǎo)體公司的口號(hào)是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個(gè)很重要的考慮因素。一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢,而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動(dòng)或改變而不會(huì)招致到大的損失。C/R的擁有者和設(shè)計(jì)者的能力為改變一C/R的關(guān)鍵,所以他們從不將一開始的設(shè)計(jì)定型。
電子潔凈廠的設(shè)計(jì)必須符合相關(guān)的工藝標(biāo)準(zhǔn),當(dāng)然,在實(shí)際的設(shè)計(jì)過程中,它們的要求也是不同的。層流手術(shù)室手術(shù)室是采用空氣潔凈技術(shù)對(duì)微生物污染采取程度不同的控制,達(dá)到控制空間環(huán)境中空氣潔凈度適于各類手術(shù)之要求;并提供適宜的溫、濕度,創(chuàng)造一個(gè)潔凈舒適的手術(shù)空間環(huán)境。由于手術(shù)室要嚴(yán)格控制低細(xì)菌數(shù)及低嘛醉氣體濃度,所以層流超凈裝置的穩(wěn)定性是層流凈化手術(shù)室的重要驗(yàn)收指標(biāo)。
為了防止交叉污染,首先需要對(duì)線路、管道系統(tǒng)、排氣管、原料處理和運(yùn)行過程進(jìn)行分析,以縮短移動(dòng)線路,避免交叉污染。操作人員、化學(xué)品、材料等線路不應(yīng)集中;車間周圍清潔,宜設(shè)置緩沖地帶;制造設(shè)備的進(jìn)出,對(duì)作業(yè)影響不大。一些空氣凈化系統(tǒng)中的空氣如果經(jīng)過處理后仍然不可避免地存在交叉污染,則無法回收:固體材料的粉碎、稱重、配料、混合、制備、壓片、包衣和填充;用有機(jī)玻璃精制的原料和藥品的精制和干燥。c溶劑;藥的生產(chǎn)區(qū)的病原體;身體操作區(qū);生產(chǎn)過程中產(chǎn)生大量有害物質(zhì)和揮發(fā)性氣體;用于固體口服制劑的顆粒、成品和干燥設(shè)備的凈化空氣。