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氦質譜檢漏儀的主要配置
科儀產品主要有:薄膜制備設備,真空冶金設備,檢漏設備,真空系統(tǒng)等非標真空產品;系列分子泵,離子泵,鈦升華泵,深冷捕集泵等高真空獲得設備;系列干式渦旋泵,干式爪泵,干式螺桿泵等無油真空獲得設備;超高真空環(huán)境模擬設備等高新技術產品。今天科儀的小編就和大家分享一下氦質譜檢漏儀的主要配置有哪些,希望對您有所幫助!測量氣體分壓力的所有質譜計,如四極質譜計、射頻質譜計、飛行時間質譜計、回旋質譜計等都可以用于檢漏。
1. 檢漏儀專用分子泵
2. 機械泵或者干泵
3. 定制檢漏儀專用電磁閥
4. 內置標準漏口
5. 放大器
6. 采用質譜專用模塊
以上是科儀為您一起分享的內容,科儀專業(yè)生產氦檢漏,歡迎新老客戶蒞臨。
真空箱法氦質譜檢漏的原理與系統(tǒng)特點
真空箱法氦質譜檢漏的充氣回收檢漏系統(tǒng)
1.配置與氣路控制
真空箱:一般為雙工位,兩個不銹鋼真空箱,開門裝置可采用液壓方式,或加配重的手動方式。
工件抽空系統(tǒng):低真空泵及閥門,低真空測量充氮與回收系統(tǒng):氦氣儲存罐(高壓罐),氦氣回收取罐(低壓罐),主壓縮機,輔壓縮機,過濾器以及一些高壓閥和真空閥門等。
真空箱抽氣系統(tǒng):為自動控制型,由面板、PLC系統(tǒng)(可編程邏輯控制器),充氦回收系統(tǒng),真空箱抽氣系統(tǒng)的電路部分以及為自動檢漏過程提供參考信號的壓力傳感器和熱偶計,同時,實施對整個系統(tǒng)的工作控制,對檢漏過程和結果顯示。
2.系統(tǒng)檢測過程
1)、通過v1、V4,泵系統(tǒng)對工件和真空箱抽真空,如果限定的時間內抽到限定的真空度,此時,電氣控制系統(tǒng)關閉V1,打開V2
2)、充氦系統(tǒng)通過V2對工件進行充氦至核定的壓力,穩(wěn)定,關閉V2
3)、關閉V4,打開V3、V5,處在正常工作狀態(tài)待命的氦質譜檢漏儀進行檢漏,如果不漏,電氣控制系統(tǒng)指揮關斷V3、V5,打開V2對氦氣進行回收。
4)、關閉V2打開V6對真空箱放氣,開啟真空箱更換工件。
5)、如果第三點檢漏儀檢測到超過設定值(漏率)的工件,檢漏儀聲光報警,將:工作內的氦氣回收,對真空箱和管道巾的氦氣通過清潔泵抽除,免得影響檢漏儀的檢測效果和不污染檢漏儀。
6)、維持泵有一定的氦分流作用,不宜過大(不超過41),清潔泵也同樣。
本產品信息由科儀提供,如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話進行咨詢,科儀竭誠為您服務!
氦氣檢漏的主要參數(shù)及優(yōu)勢
1、關鍵零部件全球集優(yōu)采購,保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性;
2、真空箱內氦氣本底抑零,保證了檢漏的準確性、;
3、特有的清氦系統(tǒng),快速有效地清除超標的氦本底,保證檢測的穩(wěn)定性和準確性;
4、實時監(jiān)測氦氣壓力和濃度,保證了工件檢測的精度;
5、可對使用過程中產生的濃度不合格氦氣進行提純,極大降低氦氣損耗(功能可選);
6、可同時檢測多工件,并能按照需求自動判斷出具體的有漏工件;
7、專業(yè)定制的的密封接頭,穩(wěn)定可靠,減少誤判。
8、觸摸屏實時顯示監(jiān)測數(shù)據(jù)和運行參數(shù),監(jiān)控一目了然。
9、電氣控制系統(tǒng)的連鎖保護及聲光報警功能,確保了系統(tǒng)的操作安全及可靠運行。
今天和大家分享的是氦氣檢漏的主要參數(shù)及優(yōu)勢,希望對您有所幫助!