(5)紫外光(Ultravioletlight，簡稱UV)催化氧化：廢氣的紫外光解催化氧化機理包括兩個過程：一是在產(chǎn)生高能離子群體的過程中，一定數(shù)量的有害氣體分子受高能作用，本身分解成單質(zhì)或轉(zhuǎn)化為無害物質(zhì)。二是含有大量高能粒子和高活性的自由基的離子群體，與分子氣體(如HS、等)作用，打開了其分子內(nèi)部的化學(xué)鍵，轉(zhuǎn)化為無害物質(zhì)。新生態(tài)的氧離子具有很強的氧化性，能有效地氧化分解不受負離子作用控制的有機物。與廢氣反應(yīng)后多余的氧離子(正)，能與氧離子(負)很快結(jié)合成中性氧。

催化媒被灰塵、油煙等覆蓋或和某些化合物如鉛、囟族元素結(jié)合從而失去催化作用，這種現(xiàn)象稱為催化媒。催化媒后，催化燃燒裝置便失去有機廢氣凈化作用，須更換催化媒。為保證凈化質(zhì)量，一般催化媒在使用一年左右就需更換。由于這個原因，催化燃燒裝置僅適用含低沸點有機成分、灰塵含量低的有機廢氣的處理，如型烤漆的中涂、面漆、罩光漆的烘干廢氣處理，而對于電泳漆烘干產(chǎn)生的廢氣(含油煙等粘性物質(zhì))處理則不宜采用。

由于二室RTO在氣流方向切換時，處于放熱狀態(tài)的蓄熱室中的殘留有機廢氣尚未進入爐膛分解直接排放，所以二室RTO對于有機廢氣的總體去除率在95%左右。三室RTO通過一室蓄熱(轉(zhuǎn)換后為放熱)，一室放熱(轉(zhuǎn)換后為吹掃)，一室吹掃(轉(zhuǎn)換后為蓄熱)，能夠解決氣流方向切換時放熱狀態(tài)蓄熱室中的有機廢氣殘留問題，凈化率能達到99%以上。