使用金屬在真空狀態(tài)下的變相特色，在與大氣壓只差0.1MPa范圍內(nèi)的真空下，固態(tài)相變熱力學(xué)、動(dòng)力學(xué)不產(chǎn)生什么變化。真空熱處理加工是和可控氣氛齊頭并進(jìn)的運(yùn)用面很廣的無氧化熱處理技能，也是當(dāng)前熱處理生產(chǎn)技能先進(jìn)程度的首要標(biāo)志之一。某些合金鋼及其焊接結(jié)構(gòu)，在淬火后當(dāng)即進(jìn)行高溫回火，這種接連的熱處理操作叫做調(diào)質(zhì)處理。通過調(diào)質(zhì)處理可使鋼堅(jiān)持高的沖擊耐性的同時(shí)獲得高的強(qiáng)度。這是其它處理辦法達(dá)不到的。

（二）退火與正火缺陷的判斷，1.硬度過高 中碳鋼硬度過高，往往是退火時(shí)加熱溫度過高，冷速太快。高碳鋼則多是等溫溫度偏低，保溫時(shí)間不足等等。出現(xiàn)上述問題可按正確的工藝參數(shù)重新退火降低硬度。2.網(wǎng)狀組織 這種組織多出現(xiàn)于亞共析及過共析鋼中，亞共析鋼中出現(xiàn)網(wǎng)狀鐵素體，過共析鋼中出現(xiàn)網(wǎng)狀碳化物，原因是加熱溫度過高，冷卻速度過慢造成，可用正火消除。檢驗(yàn)時(shí)按規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)檢驗(yàn)。3.脫碳 當(dāng)退火或正火時(shí)，在空氣爐中進(jìn)行，工件沒有氣體保護(hù)加熱時(shí)，因金屬表面產(chǎn)生氧化而脫碳。4.石墨碳 石墨碳是由碳化物分解而得，主要是加熱溫度過高、保溫時(shí)間過長(zhǎng)造成的。鋼中出現(xiàn)是石墨碳后會(huì)發(fā)現(xiàn)淬火硬度低、軟點(diǎn)、強(qiáng)度低、脆性大、斷口呈灰黑色等問題，出現(xiàn)這種石墨碳時(shí)工件只能報(bào)廢。

6、采用高溫和真空化學(xué)熱處理　　高溫化學(xué)熱處理就是在設(shè)備使用溫度允許及所滲鋼種奧氏體晶粒不長(zhǎng)大條件狹，提高化學(xué)熱處理溫度，從而大大加速滲碳的速度。把滲碳溫度從930℃提高到 1000℃，可使?jié)B碳速度提高2倍以上。 但由于還存在許多問題，今后的發(fā)展有限。真空化學(xué)熱處理是在負(fù)壓的氣相介質(zhì)中進(jìn)行。由于在真空狀態(tài)下工件表面凈化， 以及采用較高的溫度， 因而大大提高了滲速。如真空滲碳可提高生產(chǎn)率 1～2 倍； 在 133.3×（10-1～10-2）Pa下滲鋁、鉻，滲速可提高 10 倍以上。