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發(fā)布時間：2020-09-20 10:38
磁控濺射是為了在低氣壓下進行高速濺射，必須有效地提高氣體的離化率。通過在靶陰極表面引入磁場，利用磁場對帶電粒子的約束來提高等離子體密度以增加濺射率的方法。
工作原理
磁控濺射的工作原理是指電子在電場E的作用下，在飛向基片過程中與氬原子發(fā)生碰撞，使其電離產生出Ar 和新的電子；新電子飛向基片，Ar 在電場作用下加速飛向陰極靶，并以高能量轟擊靶表面，使靶材發(fā)生濺射。在濺射粒子中，中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜，而產生的二次電子會受到電場和磁場作用，產生E（電場）×B（磁場）所指的方向漂移，簡稱E×B漂移，其運動軌跡近似于一條擺線。若為環(huán)形磁場，則電子就以近似擺線形式在靶表面做圓周運動，它們的運動路徑不僅很長，而且被束縛在靠近靶表面的等離子體區(qū)域內，并且在該區(qū)域中電離出大量的Ar 來轟擊靶材，從而實現(xiàn)了高的沉積速率。隨著碰撞次數(shù)的增加，
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二次電子的能量消耗殆盡，逐漸遠離靶表面，并在電場E的作用下最終沉積在基片上。由于該電子的能量很低，傳遞給基片的能量很小，致使基片溫升較低。
機油冷卻器的種類
1）風冷式機油冷卻器
風冷式機油冷卻器的芯子由許多冷卻管和冷卻板組成，在汽車行駛時，利用汽車迎面風冷卻熱的機油冷卻器芯子。風冷式機油冷卻器要求周圍通風好，在普通轎車上很難保證有足夠的通風空間，一般很少采用。在賽車上多半采用這種冷卻器，因為賽車速度高，冷卻風量大。
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在接合過程中，逐漸松開離合器踏板，壓盤在壓緊彈簧的作用下向前移動，首先消除分離間隙，并在壓盤、從動盤和飛輪工作表面上作用足夠的壓緊力；之后分離軸承在復位彈簧的作用下向后移動，產生自由間隙，離合器接合。
離合器的調整：
離合器在使用過程中，從動盤會因磨損而變薄，使自由間隙變小，最終會影響離合器的正常接合，所以離合器使用過一段時間后需要調整。離合器調整的目的是保證合適的自由間隙，離合器調整的部位和方法依具體車型而定。
壓盤是離合器的主動部件，始終隨飛輪旋轉，通?？梢酝ㄟ^凸臺、鍵或銷傳動，使其與飛輪一同旋轉，同時壓盤又可以相對飛輪向后移動，使離合器分離。從動盤主要由從動盤本體、摩擦片和從動盤轂組成。
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