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湖北豐熱科技有限公司(原武漢離子熱處理研究所),專業(yè)制造輝光離子滲氮爐的高新技術(shù)企業(yè);是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售安裝輝光離子滲氮爐,并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術(shù)服務(wù)。
離子滲氮是在低真空含氮氣氛中,利用模具(陰極)和陽極之間產(chǎn)生的輝光放電進(jìn)行滲氮的工藝,與氣體滲氮相比工作環(huán)境好。由于離子氮化法不是依靠化學(xué)反應(yīng)作用,而是利用離子化了的含氮氣體進(jìn)行氮化處理,所以工作環(huán)境十分清潔而無需防止公害的特別沒備。用于磁控濺射鍍膜氣體放電的交流電源主要有雙極性脈沖(矩形波或正弦波)中頻靶電源與射頻靶電源兩大類別。因而,離子氮化法也被稱作“綠色”氮化法。
利用稀薄氣體的輝光放電現(xiàn)象加熱工件表面和電離化學(xué)熱處理介質(zhì),使之實現(xiàn)在金屬表面滲入欲滲元素的工藝稱為輝光放電離子化學(xué)熱處理,簡稱離子化學(xué)熱處理。因為在主要工作空間內(nèi)是等離子體,故又稱等離子化學(xué)熱處理。
輝光放電時,在放電管兩極電場的作用下,電子和正離子分別向陽極、陰極運動,并堆積在兩極附近形成空間電荷區(qū)。因正離子的漂移速度遠(yuǎn)小于電子,故正離子空間電荷區(qū)的電荷密度比電子空間電荷區(qū)大得多,使得整個極間電壓幾乎全部集中在陰極附近的狹窄區(qū)域內(nèi)。1988年,Kanazawa等人報道了在大氣壓下使用氦氣獲得了穩(wěn)定的APGD的研究成果,并通過實驗總結(jié)出了產(chǎn)生APGD要滿足的三個條件:(1)激勵源頻率需在1kHz以上。這是輝光放電的顯著特征,而且在正常輝光放電時,兩極間電壓不隨電流變化 。