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無塵室設(shè)計(jì)及工作環(huán)境的介紹
無塵室,也稱潔凈室,是指一個(gè)具有低污染水平的環(huán)境,這里所指的污染來源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學(xué)揮發(fā)性氣體。檢測的五項(xiàng)平均值小于3倍,或其中ben系物三項(xiàng)都小于3倍時(shí),使用墻面產(chǎn)品MA。更準(zhǔn)確地講,一個(gè)潔凈室具有一個(gè)受控的污染級別,污染級別可用每立方米的顆粒數(shù),或者用1大顆粒大小來厘定的。低級別的潔凈室通常是沒有經(jīng)過消毒的(如沒有受控的微生物),更多的是關(guān)心空氣傳播的灰塵。
無塵室的定義:空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個(gè)相當(dāng)潔凈的環(huán)境。脈動(dòng)真空壓力蒸汽滅菌方法:脈動(dòng)預(yù)真空壓力蒸汽滅菌整個(gè)過程需29min~36min。亦即:這個(gè)環(huán)境中的微塵粒子相當(dāng)少,稱之為潔凈室。潔凈室被廣泛地應(yīng)用在對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè),例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機(jī)械、制藥等行業(yè)等,其中以半導(dǎo)體業(yè)其對室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其必需控制在某一個(gè)需求范圍內(nèi),才不會(huì)對制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施,潔凈室可以占據(jù)廠房很多位置。
在產(chǎn)品生產(chǎn)工藝提供者的密切配合下,準(zhǔn)確地確定潔凈室需設(shè)排風(fēng)裝置的房間或工序或生產(chǎn)設(shè)備的排風(fēng)量,這是由于潔凈室內(nèi)排風(fēng)量的增加,即意味著凈化空調(diào)系統(tǒng)的補(bǔ)充新風(fēng)量的增加。根據(jù)一次性或多次抽真空的不同,分為預(yù)真空和脈動(dòng)真空二種,后者因多次抽真空,空氣排除更徹底,效果更可靠。在潔凈廠房設(shè)計(jì)中有時(shí)會(huì)出現(xiàn)由于排風(fēng)量的增加使凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)量大于規(guī)定的新鮮空氣需用量,從而使設(shè)計(jì)的熱(冷)負(fù)荷增加,因此,準(zhǔn)確地確定潔凈室內(nèi)排風(fēng)量是降低能量消耗的重要技術(shù)措施之一。
潔凈廠房設(shè)計(jì)時(shí),應(yīng)認(rèn)真了解和掌握潔凈室內(nèi)的生產(chǎn)設(shè)備的負(fù)荷率、開工率和運(yùn)行時(shí)間的實(shí)際情況,實(shí)事求是地計(jì)算各類生產(chǎn)設(shè)備的發(fā)熱量。要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度。由于供給生產(chǎn)設(shè)備的電能或其他能源,在產(chǎn)品生產(chǎn)過程中大部分轉(zhuǎn)換給產(chǎn)品或由排風(fēng)裝置、冷卻水裝置帶走,轉(zhuǎn)入室內(nèi)成為凈化空調(diào)的一部分熱負(fù)荷對于這一部分熱量的計(jì)算與多種因素有關(guān),因此需要認(rèn)真、仔細(xì)了解并積累必要的基礎(chǔ)數(shù)據(jù),盡可能做到較為準(zhǔn)確地計(jì)算生產(chǎn)設(shè)備的發(fā)熱量,以便為恰當(dāng)計(jì)算凈化空調(diào)系統(tǒng)的熱(冷)負(fù)荷提供依據(jù)。