凈化車間是為了滿足半導體制造工藝需求的潔凈室，該無塵車間對環(huán)境潔凈度、溫濕度控制等都有一定的要求。相對于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。

根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)特點可以將潔凈室分為三種類型：循環(huán)空調(diào)機配合送風口系統(tǒng)、循環(huán)風機配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。

外部水管路必須清潔干凈后，方可與本空調(diào)機組的換熱進、出水管路連接，以免將換熱器管路堵死；冷水盤管一般為下進上出，蒸汽盤管一般為上進下出，按標識接管，以避免接管錯誤；空調(diào)機組進、出水管一般采用管螺紋連接，與機組水管路相接時，不要用力過猛，以免損壞換熱器；為方便操作運行，在機組外管路上應(yīng)設(shè)置放氣閥與泄水閥。2、送風管道、回風管道使用熱鍍鋅板，凈化保溫效果較好，阻燃也有一定的效果。

7、溫濕度要求：十萬級潔凈室對溫度、濕度無特殊要求時，以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜，溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波動±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%，夏季潔凈室濕度控制在50-70%。

8、配電：潔凈室(區(qū))的主要生產(chǎn)用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。