氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)指標：1. 小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率顯圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用制冷行業(yè)：冰箱、空調(diào)、汽車用空調(diào)、蒸發(fā)器、冷凝器、奪縮機、低溫儲槽。氦質(zhì)譜檢漏儀不會受到主觀因素判斷的影響；檢測的數(shù)據(jù)精準；自動生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來源。

將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到僅對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質(zhì)譜檢漏儀不會受到主觀因素判斷的影響；檢測的數(shù)據(jù)精準；自動生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來源。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用制冷行業(yè)：冰箱、空調(diào)、汽車用空調(diào)、蒸發(fā)器、冷凝器、奪縮機、低溫儲槽。

氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備應(yīng)在施工工作完成后進行本測試，測試完成后不得進行焊縫的修磨等。若設(shè)備被浸濕或有殘余的液體都會影響毛細管的泄漏而影響測試結(jié)果的真實性。氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：原子能工業(yè)——氣體擴散處理系統(tǒng)；高能物理研究院——及其配件；氦氣是較輕的惰性氣體，在噴出時會自動上升，為了準確找到漏孔位置噴氦，使用此方法時噴氦自上而下，由近至遠（相對檢漏儀的位置），這是因為在下方時有可能被上方漏孔吸入；

漏孔距離質(zhì)譜室的距離檢漏儀反應(yīng)時間也不同，所以噴氦氣應(yīng)先從靠近檢漏儀的一側(cè)開始由近至遠進行。氦質(zhì)譜檢漏法由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對各種試件的適應(yīng)性以及無破壞性，使其廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏率應(yīng)高于設(shè)備所允許漏率1-2個數(shù)量級。首先將設(shè)備穩(wěn)固的置于明亮、透風(fēng)良好的場所，連接好檢漏用管路及壓力表，應(yīng)將壓力表安裝在測漏容器的頂部便于觀察的位置。