真空設(shè)備檢漏

聽音法

氣體從小孔中噴出時，會發(fā)出聲音。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側(cè)的壓力、壓差和氣體的種類等。根據(jù)氣體漏出時發(fā)出的聲音判斷有無泄漏。

該方法的靈敏度很大程度上受環(huán)境的影響。若工廠噪音較大，則小的聲音就不易聽清。使用聽診qi，某種程度上可以消除周圍噪音的影響，聽清泄漏聲音，但有時與泄漏無關(guān)的聲音（例如電機(jī)的聲音）也會混雜進(jìn)來，從而影響檢漏靈敏度。為了辨別較小的聲音，可用話筒和放大器將聲音放大。但此時其它聲音也同時放大，多數(shù)情況下較難收到好的效果。在檢測壓力為0.3MPa，周圍非常安靜的條件下，可以聽出5′10-2cm3/s的泄漏率的聲音。但是，以氦氣作為示漏氣體，也有一些不足之處，例如橡膠、塑料等有機(jī)材料常常會吸收氦氣，在吸收后慢慢地釋放出來。

這種方法既簡單、經(jīng)濟(jì)。使用聽診qi，在某種程度上可以判斷出泄漏點。如單憑耳朵聽，往往因聲波的反射或吸收，很難確定泄漏點，即發(fā)聲地點。由于檢測環(huán)境條件不同，所得到的結(jié)果可能偏差很大。因此，這種方法的穩(wěn)定性和可靠性很差。應(yīng)與其它檢測法并用。

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設(shè)備及密封器件的微小漏隙進(jìn)行定位、定量和定性檢測的專用檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡便，檢測迅速等特點，是在真空檢漏技術(shù)中用得普遍的檢漏儀器，

其測量工作原理如下。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計，用氦氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質(zhì)譜檢漏儀器。其結(jié)構(gòu)主要由進(jìn)樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子。質(zhì)量分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質(zhì)荷比不同，在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進(jìn)行分離，在設(shè)計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙，打在收集器上。收集放大器收集氦離子流并送入到電流放大器，通過測量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計指示質(zhì)譜室的壓力及用作保護(hù)裝置。至少要在10-3mbar以下，空氣的流動才體現(xiàn)為分子流，質(zhì)譜儀才能穩(wěn)定正常工作。

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真空設(shè)備檢漏與維修

為什么要檢漏

泄漏和密封相對應(yīng)

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進(jìn)或流出這個空間。如真空設(shè)備（真空鍍膜機(jī)，液晶注入機(jī)，PVD，半導(dǎo)體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進(jìn)工作腔體，否則生產(chǎn)不能進(jìn)行，或者產(chǎn)生次品，浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴(yán)重，一般會造成有效物資的浪費，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至?xí)劤墒鹿省涞姆肿恿颗c氦氣相近，是所有化學(xué)元素中分子量最輕的元素，有很好的擴(kuò)散性，逃逸性很強(qiáng)，吸附及粘滯性很低。

這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備，在投入使用前，就要先進(jìn)行檢漏，使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。

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