復(fù)合式(Mixed Type)

復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易； B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。

(2)潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。靜電場中的陰極線在高壓靜電的作用下，產(chǎn)生電暈放電，電暈層中產(chǎn)生大量的負離子，負離子在靜電場的作用下，不斷地向陽極運動。

(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。

凈化工程是一個應(yīng)用行業(yè)非常廣泛的基礎(chǔ)性配套產(chǎn)業(yè)，（21世紀）在電子信息、半導(dǎo)體、光電子、精密制造、醫(yī)護衛(wèi)生、生物工程、航天航空、汽車噴涂等眾多行業(yè)均有應(yīng)用，并根據(jù)行業(yè)的精密與無塵要求，等級差別也較大。目前級別相當高的當屬航天航空的航空倉，基本是屬于1級，屬于特殊領(lǐng)域，面積相對較小。凈化車間另外對級別要求較高的是生化實驗室和高精納米材料生產(chǎn)車間，物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來需求的一大方向。隨著電子元器件向微小化方向發(fā)展，液晶面板已經(jīng)升級至第八代，行業(yè)需求非常巨大。當空氣中粉塵通過電場時，粉塵受到負離子的碰撞帶上電荷，帶上電荷后的粉塵同樣受到靜電場的作用，向陽極（集塵極）運動，到達陽極后釋放電荷。

信封結(jié)構(gòu)系統(tǒng)：簡單來說，它是頂部，墻壁和地面，即構(gòu)成三維受限空間的六個面。精美，包括門窗，裝飾弧等;管道系統(tǒng)：包括供氣，回風(fēng)，新風(fēng)，排風(fēng)管，端部和控制裝置;

空調(diào)系統(tǒng)：包括冷（熱）水單元（包括水泵，冷卻塔等）（或風(fēng)冷管道水平儀等），管道，組合凈化空調(diào)箱（包括混流段，初始效果段），加熱部分，制冷部分，除濕部分，加壓部分，中效部分，靜壓部分等）;

提高設(shè)備水平

設(shè)備的材質(zhì)、加工精度、密閉程度以及管理制度都與交叉污染有關(guān)。所以潔凈車間除了合理布局外，提高設(shè)備的自動化水平和組成聯(lián)動的生產(chǎn)線，以減少操作人員，降低人員的活動頻率，是防止交叉污染的必要措施。

分設(shè)潔凈車間空調(diào)凈化系統(tǒng)

潔凈室的空調(diào)凈化系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)不同的潔凈度等級分設(shè)。對β-內(nèi)酰胺類、避孕藥品、強毒微生物等的工作室，應(yīng)設(shè)置空調(diào)凈化系統(tǒng)，其排風(fēng)口應(yīng)安裝過濾設(shè)備，以將這些藥的污染降至低限度。對不同潔凈度等級的潔凈室，產(chǎn)生粉塵和有害氣體的潔凈車間，被排介質(zhì)毒性大的、，應(yīng)單獨設(shè)局部排風(fēng)系統(tǒng)。潔凈車間的排風(fēng)口應(yīng)有防倒灌裝置。(1)送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大，和單純空調(diào)房間相比，要求速度衰減更快，擴散角度更大。送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)的啟閉應(yīng)有連鎖裝置。