真空泵維修保養(yǎng)誤區(qū)

 真空泵為什么有噪音，有以下幾種可能，首先排除電機(jī)是否有異音，如果電機(jī)生音正常，電機(jī)主要是軸承損壞將有異音，更換軸承及排除，缸體是否有磨損狀況，如果缸體磨損聲音肯定會(huì)變大，解決方案，那就是搪缸，搪缸對(duì)泵浦本身影響很大的，會(huì)影響泵浦真空度及抽速，所以搪缸的尺寸及精度要求非常高，還有一級(jí)轉(zhuǎn)子與二級(jí)轉(zhuǎn)子連接處有個(gè)聯(lián)軸器是否有磨損，如果磨損聲音會(huì)變大，真空泵維修處理方案，就是更換，如果更換基本就可以排除聲音過(guò)大，泵浦軸承是否有更換，這個(gè)是直接影響聲音的根本原因，所以更換及可以解決噪音大之故障，一級(jí)轉(zhuǎn)子與二級(jí)轉(zhuǎn)子連接銷釘是否有磨損狀況，如果磨損也會(huì)導(dǎo)致噪音變大，處理方案就是換新，泵浦間隙是否符合標(biāo)準(zhǔn)，如果間隙過(guò)大或者過(guò)小也會(huì)導(dǎo)致噪音變大，所以間隙必須符合泵浦使用狀況，排氣端是否有消音裝置，如果沒(méi)有也會(huì)直接導(dǎo)致聲音變大，處理方案就是更換及可以安裝及可排除。    真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來(lái)，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵）對(duì)ya有一定的抽速，兩者組合起來(lái)，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空。有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來(lái)使用。真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí)，應(yīng)該選各種無(wú)油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。2、另外也是由于真空泵油造成的真空度低的情況，就是真空泵油乳化變色，或者過(guò)臟。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。

指低級(jí)排氣閥附近測(cè)得的高油溫超過(guò)使用說(shuō)明書規(guī)定值，由于泵溫升高會(huì)使泵油粘度大幅下降，并使泵油的飽和蒸汽壓升高，使泵的極限壓力升高和抽氣效率下降，使橡膠件容易老化，熱膨脹使運(yùn)轉(zhuǎn)間隙縮小，特別是某些非金屬旋片的厚度方向和銅套內(nèi)孔間隙，影響泵運(yùn)轉(zhuǎn)的可靠性。泵溫太高的原因可以是泵環(huán)境溫度太高，進(jìn)氣溫度太高，進(jìn)氣冷卻裝置失效，泵長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)入口壓力太高；填料壓得過(guò)緊，松開(kāi)調(diào)料壓蓋螺栓，啟動(dòng)泵后，慢慢擰緊壓蓋螺栓，至有點(diǎn)水外流為止。水冷泵冷卻水量不足，循環(huán)水設(shè)計(jì)效果不佳，溫控水量調(diào)節(jié)閥失效等。

近年來(lái), 受半導(dǎo)體制造、液晶注入、太陽(yáng)能電池生產(chǎn)、電子器件等新興行業(yè)和薄膜制備、化工、制藥等傳統(tǒng)行業(yè)的帶動(dòng), 多級(jí)羅茨干泵作為核心裝備之一, 其研制和生產(chǎn)越來(lái)越受到重視。多級(jí)羅茨干泵滿足了IC 裝備制造業(yè)的工作溫度高、長(zhǎng)期運(yùn)轉(zhuǎn)穩(wěn)定、噪聲低、維護(hù)簡(jiǎn)單、清潔無(wú)油等眾多要求, 是很有發(fā)展前景的一種干式真空泵。但是, 除了加工及裝配要求精度高、加工難度大、一次性投入昂貴等制約因素外, 其設(shè)計(jì)理論和制造工藝亟待提高, 尤其包括羅茨型線的改善、加工成本的降低、間隙的確定、泄漏量的計(jì)算、泵內(nèi)的熱力學(xué)分析、轉(zhuǎn)子表面涂層、噪聲振動(dòng)等難點(diǎn)問(wèn)題, 制約了多級(jí)羅茨干泵研制和生產(chǎn)。真空泵油適用于往復(fù)式增壓泵、機(jī)械增壓泵和油封機(jī)械真空泵等使用，亦可用于各種擴(kuò)散真空泵等。