Parylene的真空氣相沉積工藝

Parylene的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似，而且所制備的Parylene涂層介電常數(shù)也低，還能用微電子加工工藝進(jìn)行刻蝕制圖，進(jìn)行再金屬化，因此Parylene不僅可用作防護(hù)材料，而且也能作為結(jié)構(gòu)層中的介電材料和掩膜材料使用，經(jīng)Parylene涂敷過(guò)的集成電路芯片，其25um細(xì)直徑連接線，連接強(qiáng)度可提高5-10倍。 Parylene能在0.2um厚時(shí)就完全沒(méi)有，5um時(shí)就能耐1000V以上直流擊穿電壓，又是摩擦系數(shù)很低的一種自潤(rùn)滑材料，化學(xué)惰性和阻隔性能也好，因此在微電子機(jī)械系統(tǒng)中，除了作電介質(zhì)材料外，還用作微型傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和微型閥門(mén)的結(jié)構(gòu)材料和防護(hù)材料。

Parylene涂層防護(hù)

自動(dòng)化控制和惡劣環(huán)境下使用的傳感器、換能器，用很薄的Parylene涂層防護(hù)可以提高環(huán)境適應(yīng)性和可靠性。使用環(huán)境包括淡水、海水、煉油廠、化工廠、血液和體液以及輻射環(huán)境等。由于很薄的Parylene薄膜涂層就能對(duì)器件提供有效防護(hù)，對(duì)傳感器的靈敏度影響很小。國(guó)外已有四千萬(wàn)種以上各種傳感器用Parylene防護(hù)，可用于微波、射頻、聲學(xué)、壓電、輻射、化學(xué)、溫度等各種傳感器。其中有汽車(chē)傳感器、腐蝕環(huán)境用傳感器、生物醫(yī)學(xué)用傳感器等。經(jīng)Parylene封裝的CMOS器件浸入海水中300天以上仍能正常工作，采用Parylene封裝防護(hù)甚至還可以開(kāi)發(fā)能夠在液氮中使用的微電子器件。

Parylene高的絕緣強(qiáng)度和它的干膜潤(rùn)滑性能使它完全能適合

除了這些內(nèi)在的性質(zhì)以外Parylene類涂層有優(yōu)異的電性能，它有優(yōu)異的節(jié)電性能-低的介質(zhì)損耗和高的介電強(qiáng)度，同時(shí)它還具有優(yōu)良的機(jī)械性能，有高的機(jī)械強(qiáng)度和低的摩擦系數(shù)，這二者的結(jié)合使Parylene成為對(duì)小型繞線傷害元件能能適用的絕緣層。細(xì)銅線的絕緣漆在嚴(yán)格的繞線操作時(shí)會(huì)被損壞，尤其是對(duì)較小的環(huán)形和圓筒形器件需要用一個(gè)涂層，它不僅能提供絕緣而且也能消除摩擦引起的繞線時(shí)對(duì)線的損傷。Parylene高的絕緣強(qiáng)度和它的干膜潤(rùn)滑性能使它完全能適合于這種應(yīng)用。

       根據(jù)防水使用的膠水材料又分為，環(huán)氧樹(shù)脂膠和硅膠。在外觀和發(fā)光效果來(lái)講。灌注硅膠的防水燈條發(fā)出的光強(qiáng)度更大，且手感舒適還兼顧了環(huán)保理念。但他有一個(gè)缺點(diǎn)柔韌性較差易碎。相比較而言多數(shù)還是選擇環(huán)氧樹(shù)脂膠，他的柔韌性較好且成本相對(duì)便宜，所以被廣泛使用。

      按照芯片總類以及燈珠數(shù)量劃分：LED軟燈條常見(jiàn)的燈珠有3528、5050兩種，根據(jù)每米燈珠的數(shù)量分為：30燈、48燈、60燈等常見(jiàn)規(guī)格，其中3528由于其功率較?。▎晤w0.06W）可做到120燈/米。