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凈化工程之無塵車間的凈化原理
凈化原理1
氣流→初效空氣處理→空氣調(diào)節(jié)→中效空氣處理→風(fēng)機(jī)加壓送風(fēng)→凈化送風(fēng)管道→高1效1送風(fēng)口→潔凈室→帶走塵埃(細(xì)1菌) → 回風(fēng)夾道→新風(fēng)、初效空氣處理。
重復(fù)以上過程,即可達(dá)到凈化目的。
技術(shù)參數(shù)
換氣次數(shù):十萬級10-15次/小時;
萬級15-25次/小時;
千級50-52次/小時;
百級操作臺斷面風(fēng)速0.25-0.35m/s;
壓差:主車間對相鄰潔凈房間≥5Pa;潔凈房間對非潔凈區(qū)≥10Pa;
溫度:冬季>16℃±2℃;夏季 <26℃±2℃;
相對濕度:45-65%(RH);
噪聲≤65dB(A);
新風(fēng)補(bǔ)充量:總送風(fēng)量的20%-30%;
照度:≥300Lux。
結(jié)構(gòu)材料
1.潔凈室墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化的氧化鋁型材制造。門采用凈化密閉門,窗采用鋁合金玻璃固定窗。
2.地面采用環(huán)氧自流平或高1級耐磨塑料潔凈地板。
3.凈化通風(fēng)管道選用鍍鋅薄鋼板制作,并采用“PEF”阻燃型的保溫板做保溫。
傳統(tǒng)凈化工程存在的不足應(yīng)該如何解決
具體解決方案有:
?。?) 應(yīng)用納米鈦炭網(wǎng)與光觸媒技術(shù)去除有害氣體以及異味。
在凈化系統(tǒng)的送回風(fēng)管道中(或在靜電凈化柜中)安裝應(yīng)用納米鈦炭濾網(wǎng),并使用光觸媒技術(shù),可以非常有效的去除降解有毒有害氣體及氣味。從而解決了潔凈工程不能去除有毒有害氣體及氣味的難題。
(2)采用靜電滅菌凈化柜來殺滅細(xì)1菌,消毒并去除飄塵。
靜電滅菌凈化柜的工作原理:靜電滅菌凈化柜中的電場,采用圓孔針狀、蜂巢棒狀的雙區(qū)靜電場;2、地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高1級耐磨塑3、送回風(fēng)管道用熱鍍鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。雙區(qū)指的是極化區(qū)和極塵區(qū)。當(dāng)通風(fēng)管道中送出的空氣在通過雙區(qū)靜電場時,空氣中的細(xì)1菌、飄塵等污染物首先被靜電場極化 (即充上負(fù)電荷),因細(xì)1菌的胞囊其本身是帶負(fù)電荷的,在通過靜電極化區(qū)時被再一次充上很高能量的負(fù)電荷。帶負(fù)電荷的細(xì)1菌、病毒等污染物通過系統(tǒng)進(jìn)入正電場的集塵區(qū)時,即刻被集塵區(qū)的正集塵板強(qiáng)烈的吸集,在正電極的作用下,要在瞬間快速釋放其胞囊中的負(fù)電荷能量時,胞囊即刻被擊碎而,其滅菌率達(dá)到99.99%,從而達(dá)到滅菌消毒1的目的。同時靜電場對空氣中的飄塵有強(qiáng)烈的吸集與凝并作用,其除塵率達(dá)96%。這就有效的保護(hù)了高1效過濾膜,增加其使用壽命 2—3倍,而電場用金屬材料制作,可方便的卸下,清洗后反復(fù)使用,減少了系統(tǒng)的使用成本。
FFU具有的特點(diǎn):
第yi,靈活性:因?yàn)镕FU是自帶動力的,它不受區(qū)域的限制,在一個偌大的無塵廠房里可根據(jù)要求,分區(qū)控制,而且,隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化,廠房布局必然要作相應(yīng)的調(diào)整,F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松,而且不會帶來二次投資。
第二,可再利用性,從理論上講,一時不用的FFU設(shè)備,可以拆下來,密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三,負(fù)壓通風(fēng),這是FFU的獨(dú)特特點(diǎn),由于它本身能夠提供靜壓,使得送風(fēng)靜壓箱相對于無塵廠房負(fù)壓,這樣,靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)內(nèi),使得密封變得很簡單而且安全。
第四,縮短建設(shè)周期,使用FFU省掉了風(fēng)箱的制作和安裝,因?yàn)轱L(fēng)管在潔凈工程中,占掉很大的建設(shè)周期,任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益,選用FFU成為了一種可能。
第五,減少運(yùn)行成本,雖然在選用FFU時,初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高,但在它后期運(yùn)行中,突出的表現(xiàn)出節(jié)能,免維護(hù)等特點(diǎn),用大循環(huán)減少40%的運(yùn)行成本。