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微壓力傳感器與傳統(tǒng)的比較
微壓力傳感器與傳統(tǒng)的比較 采用半導(dǎo)體材料和MEMS工藝制造的新型壓力傳感器。與傳統(tǒng)壓力傳感器相比,微壓力傳感器具有精度高、靈敏度高、動(dòng)態(tài)特性好、體積小、耐腐蝕、成本低等優(yōu)點(diǎn)。純單晶硅的材料疲勞小,采用這種材料制造的微壓力傳感器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性好。同時(shí),微壓力傳感器易于與微溫度傳感器集成,增加溫度補(bǔ)償精度,大幅提高傳感器的溫度特性和測(cè)量精度。如果將2個(gè)微壓力傳感器集成,又可以實(shí)現(xiàn)靜壓補(bǔ)償,從而提高壓力傳感器的靜壓特性。由此可見(jiàn),微壓力傳感器具有許多傳統(tǒng)壓力傳感器不具備的優(yōu)點(diǎn),能夠很好地滿足石化行業(yè)對(duì)壓力傳感器的需求。 壓力傳感器所用的元件材料是具有壓阻效應(yīng)的單晶硅、擴(kuò)散摻雜硅和多晶硅。根據(jù)晶體不受定向應(yīng)力時(shí),電導(dǎo)率是同性的,只有受定向應(yīng)力時(shí)才表現(xiàn)出各向異性,由于應(yīng)力能引起能帶的變化,能谷能量移動(dòng),導(dǎo)致電阻率的變化,于是就有電阻的變化,從而產(chǎn)生壓阻效應(yīng)。單晶硅效應(yīng)包括n型和p型硅壓阻效應(yīng)。選用擴(kuò)散硅目的在于在設(shè)計(jì)制造壓力傳感器時(shí)可根據(jù)不同溫度下硅擴(kuò)散層的壓阻特性選擇合適的擴(kuò)散條件,力求使壓力傳感器具有良好的性能。多晶硅在傳感器中有廣泛的用途,可作為微結(jié)構(gòu)和填充材料、敏感材料。
硅壓阻式壓力傳感器工作原理
硅壓阻式壓力傳感器工作原理: 硅壓阻式壓力傳感器是采用微處理器的多功能高精度數(shù)字壓力變送器。獨(dú)特的數(shù)字輸出、先進(jìn)的數(shù)字電路和更新的內(nèi)部補(bǔ)償軟件系統(tǒng)地結(jié)合在一起,以小型、低功耗封裝提供了精度達(dá)0.1mbar分辨率。軟件校準(zhǔn),帶溫度補(bǔ)償,壓力和溫度測(cè)量(35ms/meas.),低功耗(2.2-3.6V/《4/0.1uA),無(wú)需外圍元件,小型SMD陶瓷結(jié)構(gòu),防腐蝕封膠保護(hù)。其次壓力傳感器是貼片混合裝置,包括一個(gè)壓阻式壓力傳感器和一個(gè)ADC接口芯片。它提供了一個(gè)壓力和溫度的依賴電壓的16位數(shù)字信號(hào)。此外該模塊包含一個(gè)高度的傳感器的軟件校正6可讀系數(shù),是一種低功耗,低電壓自動(dòng)斷電裝置向下(開(kāi)/關(guān))開(kāi)關(guān)。一個(gè)3線接口用于與微控制器的所有通信。相較于以前的版本中,所有引腳靜電放電敏感度水平已提高至4kV。不僅如此還可滿足的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn),從-40℃~125℃的溫度范圍內(nèi)0.1mbar的精度要求。同時(shí),它增加了一系列方便使用的功能:壓力和高度的工程單位的轉(zhuǎn)化,數(shù)字高度設(shè)置顯示(DASI),校正的高度模式,高低位報(bào)警設(shè)定,零點(diǎn)/去皮功能,和/大點(diǎn)跟蹤。昆山丹瑞傳感測(cè)控在提供專業(yè)的潛水設(shè)備傳感器以外,還提供行業(yè)內(nèi)各種壓力傳感器,滿足各行業(yè)的使用需求,在壓力傳感器的自主研發(fā)實(shí)力上已經(jīng)做到媲美進(jìn)口壓力傳感器的水準(zhǔn),所以在性價(jià)比和交付周期上完全優(yōu)于進(jìn)口產(chǎn)品。
壓力傳感器正確安裝方法
??壓力傳感器正確安裝方法: ??(1)通過(guò)適當(dāng)?shù)膬x表,在普通大氣壓和標(biāo)準(zhǔn)溫度條件下,核實(shí)壓力傳感器的頻率反應(yīng)值。 ??(2)核實(shí)壓力傳感器的編碼與相應(yīng)的頻率反應(yīng)信號(hào)的正確性。 ??確定具體安裝位置 ??為了確定壓力傳感器的編號(hào)和具體安裝位置,需按充氣網(wǎng)的各個(gè)充氣段來(lái)考慮。 ??(3)每條線纜的始端和末端分別安裝1個(gè)。 ??(4)壓力傳感器沿著線纜進(jìn)行安裝,安裝在線纜接頭處較好。 ?(5)線纜敷設(shè)方式(架空、地下)改變處應(yīng)裝1個(gè) ??(6)對(duì)無(wú)分支的線纜,因壘線的線纜程式一致,壓力傳感器的安裝隔距不大干500m,并使其總數(shù)不少于4個(gè)。 ??(7)為了便于確定壓力傳感器故障點(diǎn),除在起點(diǎn)安裝壓力傳感器外,距起點(diǎn)150~200m處,還要另外安裝1個(gè)當(dāng)然在設(shè)計(jì)中,一定要考慮經(jīng)濟(jì)與技術(shù)的因素,在不需要安裝壓力傳感器的地方,則應(yīng)不必安裝。 ??(8)每條線纜裝設(shè)壓力傳感器不少于4個(gè),靠近電話局的兩個(gè)壓力傳感器,相距不應(yīng)大干 ??(9)每條線纜的分支點(diǎn)應(yīng)裝1個(gè),如果兩個(gè)分支點(diǎn)相距較近(小于100m),可只裝1個(gè)。