微壓力傳感器與傳統(tǒng)的比較

微壓力傳感器與傳統(tǒng)的比較 采用半導體材料和MEMS工藝制造的新型壓力傳感器。與傳統(tǒng)壓力傳感器相比，微壓力傳感器具有精度高、靈敏度高、動態(tài)特性好、體積小、耐腐蝕、成本低等優(yōu)點。純單晶硅的材料疲勞小，采用這種材料制造的微壓力傳感器的長期穩(wěn)定性好。同時，微壓力傳感器易于與微溫度傳感器集成，增加溫度補償精度，大幅提高傳感器的溫度特性和測量精度。如果將2個微壓力傳感器集成，又可以實現(xiàn)靜壓補償，從而提高壓力傳感器的靜壓特性。由此可見，微壓力傳感器具有許多傳統(tǒng)壓力傳感器不具備的優(yōu)點，能夠很好地滿足石化行業(yè)對壓力傳感器的需求。 壓力傳感器所用的元件材料是具有壓阻效應的單晶硅、擴散摻雜硅和多晶硅。根據(jù)晶體不受定向應力時，電導率是同性的，只有受定向應力時才表現(xiàn)出各向異性，由于應力能引起能帶的變化，能谷能量移動，導致電阻率的變化，于是就有電阻的變化，從而產(chǎn)生壓阻效應。單晶硅效應包括n型和p型硅壓阻效應。選用擴散硅目的在于在設計制造壓力傳感器時可根據(jù)不同溫度下硅擴散層的壓阻特性選擇合適的擴散條件，力求使壓力傳感器具有良好的性能。多晶硅在傳感器中有廣泛的用途，可作為微結(jié)構(gòu)和填充材料、敏感材料。

微熔式玻璃微熔技術(shù)的補償方式

玻璃微熔式 玻璃微熔技術(shù)由美國MSI公司于上個世紀90年代早期研發(fā)成功并開始批量生產(chǎn)。90年代中晚期被美國TI公司應用于汽車工業(yè)。主要用于汽車EBD系統(tǒng)。近幾年開始應用于缸內(nèi)直噴技術(shù)的發(fā)動機上。測量壓力范圍7Bar-700Bar。有良好的可批量生產(chǎn)性，硅應變計的生產(chǎn)技術(shù)現(xiàn)為國外公司所掌握。國內(nèi)目前有公司已在研發(fā)和小批量生產(chǎn)，產(chǎn)品的可靠性有待確認。也有少數(shù)公司開始生產(chǎn)微熔壓力傳感器。 半導體硅片的溫度特性比較差，通常大于10%FS/100度，必須進行溫度補償，補償方式通常有模擬補償和數(shù)字補償兩種方式。

壓力傳感器應用安全控制系統(tǒng)

壓力傳感器應用安全控制系統(tǒng) 壓力傳感器在安全控制系統(tǒng)中，通過在出氣口的管道設備中安裝壓力傳感器來在一定程度上控制壓縮機帶來的壓力，這算是一定的保護措施，也是非常有效的控制系統(tǒng)。當壓縮機正常啟動后，如果壓力值未達到上限，那么控制器就會打開進氣口通過調(diào)整來使得設備達到功率。 ??在安全控制領(lǐng)域應用一般從性能方面來考慮，從價格上的考慮，還有從實際操作的安全性方便性來考慮，實際證明選擇壓力傳感器的效果非常好。 ??壓力傳感器在安全控制系統(tǒng)中經(jīng)常應用，主要針對的領(lǐng)域是空壓機自身的安全管理系統(tǒng)。在安全控制領(lǐng)域有很多傳感器應用，壓力傳感器作為一種非常常見的傳感器，在安全控制系統(tǒng)中應用也不足為奇。 ??壓力傳感器利用機械設備的加工技術(shù)將一些元件以及信號調(diào)節(jié)器等裝置安裝在一塊很小的芯片上面。所以體積小也是它的優(yōu)點之一，除此之外，價格便宜也是它的另一大優(yōu)點。在一定程度上它能夠提高系統(tǒng)測試的準確度。