烘箱選型依據(jù)及理由 因為烘箱用在光刻工藝， 所以對其的潔凈度要求比較高， 同時用于膜的固化 等工藝， 保持片內(nèi)的均勻性、 溫控系統(tǒng)也是要求較高。2)高備采用數(shù)顯溫度調(diào)節(jié)儀進行溫度控制、控溫靈敏、操作簡便、性能可靠，數(shù)字直接顯示出工作溫度，直觀易讀。 烘箱的生產(chǎn)廠家國內(nèi)和國 外都比較多， 用途也是多元化的， 從價格角度考慮， 則把國內(nèi)生產(chǎn)的烘箱放在首 位， 因為不論是售后服務(wù)還是備件購買都會相對容易一些， 價格很低很多。 但光 刻工藝中要求嚴格控制烘箱產(chǎn)生的顆粒度。

烘箱的工作原理

箱體的溫度控制采用了智能電腦溫控和PLC自控系統(tǒng)，溫度信號的采集用鉑電阻，經(jīng)溫度控制器的放大與設(shè)定值進行比較得到PID控制信號，同時PLC程控器輸出控制信號控制固態(tài)繼電器SSR導(dǎo)通，固態(tài)繼電器再控制加熱器加熱，使箱體處于升溫除濕階段。風(fēng)源由循環(huán)送風(fēng)電機（采用無觸點開關(guān)）帶動風(fēng)輪（Φ230）經(jīng)由電熱器，而將熱風(fēng)送出，再經(jīng)由風(fēng)道至烘箱內(nèi)室，再將使用后的空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)，加熱使用。當(dāng)溫度達到設(shè)定值時，溫控儀輸出PID控制信號PLC，PLC輸出控制信號給時間繼電器KT，使其開始保溫計時，同時，關(guān)閉進風(fēng)機和排風(fēng)碟閥。

電熱鼓風(fēng)干燥箱

電熱鼓風(fēng)干燥箱廣泛用于機電、化工、塑料、輕工等行業(yè)及科研單位對各種產(chǎn)品、試品進行烘培、干燥、固化、熱處理及其它方便的加熱。不適用于揮發(fā)性物品，以免引起爆1炸。

性能特點

1)電熱鼓風(fēng)干燥箱適合測定煤中水分、烘干物品、干燥熱處理及其它加熱之用。

2)高備采用數(shù)顯溫度調(diào)節(jié)儀進行溫度控制、控溫靈敏、操作簡便、性能可靠，數(shù)字直接顯示出工作溫度，直觀易讀。

工作室溫度可在室溫至300℃之間任意恒溫;能自動切斷電源，保護設(shè)備和試品。該高備是實驗室不可缺少的分析設(shè)備。