真空爐是利用感應(yīng)加熱對被加熱物品進(jìn)行保護(hù)性燒結(jié)的爐子，可分為工頻、中頻、高頻等類型，可以歸屬于真空燒結(jié)爐的子類。低壓真空滲碳技術(shù)的突破不僅可以有效減少滲碳后產(chǎn)生的炭黑，并且具有良好的滲層均勻性，從而有效地改善了以往應(yīng)用過程中存在的問題。真空感應(yīng)燒結(jié)爐是在真空或保護(hù)氣氛條件下，利用中頻感應(yīng)加熱的原理使硬質(zhì)合金刀頭及各種金屬粉末壓制體實現(xiàn)燒結(jié)的成套設(shè)備，是為硬質(zhì)合金、金屬鏑、陶瓷材料的工業(yè)生產(chǎn)而設(shè)計的。

1．中頻電源、真空爐爐體、感應(yīng)圈之冷卻水源——蓄水池之水必須充滿，水中不得有雜質(zhì)。

2．開動水泵，使其中頻電源，真空爐感應(yīng)圈、爐體冷卻系統(tǒng)水循環(huán)正常，并調(diào)整水壓控制在規(guī)定值。

維護(hù)是熱處理設(shè)備不可或缺的事實。金屬熱處理的加熱方法很多，較早是采用木炭和煤作為熱源，進(jìn)而應(yīng)用液體和氣體燃料。通常，維護(hù)成本隨著工作溫度的升高或過程環(huán)境的惡化而急劇增加（例如滲碳與淬火），盡管真空爐經(jīng)常在高溫度額定值以下運行，但事實仍然如此。與所有設(shè)備一樣，某些樣式和設(shè)計需要比其他樣式和設(shè)計更多的關(guān)注。但是，有趣的是，熱處理設(shè)備的構(gòu)造通?？梢园此璧木S護(hù)量分為“重型”或“輕型”。當(dāng)然，如果任何爐子超出其設(shè)計限制而運行，這幾乎總是意味著需要進(jìn)行更廣泛的維護(hù)。

齒輪簡單的滲碳熱處理工藝是在滲碳后降溫至淬火溫度，經(jīng)保溫后直接淬火。采用此方法容易使材料晶粒粗大，脆性較大，工件組織應(yīng)力大，只能承載強(qiáng)度較小的小模數(shù)齒輪。從曲線中可見，在抽氣過程中，開始真空爐的壓力降低很快，之后達(dá)到穩(wěn)定，關(guān)閉真空閥門之后，爐內(nèi)的壓力值變化可以用曲線表示。目前生產(chǎn)中20CrMoMn鋼零件常用的工藝是在滲碳后先爐冷到550℃出爐空冷，隨后重新入爐加熱淬火。由于滲碳后需爐冷到一定溫度才能出爐，出爐溫度越低對工件表面減少氧化脫碳越有利，而爐溫越低，工件降溫速度也就越慢；另一方面，由于工件進(jìn)爐淬火加熱時需經(jīng)過一段建立爐氣碳勢的時間，才能確保淬火后工件的表面質(zhì)量。因此目前這種熱處理工藝耗費時間較長。

大部分加熱與隔熱材料只能在真空狀態(tài)下使用：真空熱處理爐的加熱與隔熱襯料是在真空與高溫下工作的，因而對這些材料提出了耐高溫，蒸汽壓低，輻射效果好，導(dǎo)熱系數(shù)小等要求。熱處理工藝一般包括加熱、保溫、冷卻三個過程，有時只有加熱和冷卻兩個過程。對扛氧化性能要求不高。所以，真空熱處理爐廣泛采用了鉭、鎢、鉬和石墨等作加熱與隔熱構(gòu)料。這些材料在大氣狀態(tài)下極易氧化，因此，常規(guī)熱處理爐不能采用這些加熱與隔熱材料。