電子束簡介

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電子經(jīng)過匯集成束。具有高能量密度。它是利用電子槍中陰極所產(chǎn)生的電子在陰陽極間的高壓（25-300kV）加速電場作用下被加速至很高的速度（0.3-0.7倍光速），經(jīng)透鏡會聚作用后，形成密集的高速電子流。

電子束【釋義】：又稱電子注。在真空匯集成束?？刹捎渺o電場聚焦,磁場聚焦等方法。電子顯微鏡和電視機就是利用電子束形成影像的。

電子束蒸鍍系統(tǒng)的特點

* 渦輪分子泵，串接機械泵或干泵

* pocket電子槍

* 電子束源和基片遮板

* 性能好的開關(guān)電源，杰出的消弧性能

* 自動Pocket索引以及可編程的掃描控制器

* 膜厚監(jiān)測，可設(shè)置目標膜厚作為工藝終點條件

* 旋轉(zhuǎn)樣品臺，提供高均勻性

* 帶觀察視窗的腔門，便于放片/取片

* PC全自動控制，具有高度的可重復(fù)性

* Labview軟件的計算機全自動工藝控制控

* 多級密碼保護的授權(quán)訪問設(shè)計

* EMO保護以及完全的安全聯(lián)鎖

以上就是為大家介紹的全部內(nèi)容，希望對大家有所幫助。如果您想要了解更多電子束的知識，歡迎撥打圖片上的熱線聯(lián)系我們。